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J-GLOBAL ID：200902290900967829   整理番号：09A1282831

電解液を用いた容量型水平センサの試作と評価

Development of Electrolyte-based Capacitive Level Sensor

著者 (2件)： 森永秀樹 (慶應義塾大学) ,  松本佳宣 (慶應義塾大学)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 129  号： 12  ページ： 469-470 (J-STAGE)  発行年： 2009年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,水準器の原理を応用し,検出に液体を使用した水平センサの試作と評価を行った。この水平センサは,プリント基板上に5つの電極(十字型の共通電極とXY方向の傾斜を検知する4個の扇形電極)と絶縁膜を成膜して,ドーム型空洞を形成した容器を接合した構造となっている。空洞内に,電解液と気泡を封入して電極に電圧を加えると,電解液中のイオンが絶縁膜上部に引き寄せられ,見かけ上導体として振る舞い静電容量が発生する。センサに傾斜を与えると気泡が移動し,各電極上の容量値が変化するため,この容量変化から傾斜を検知することができる。今回,適切な容器形状と電解液を選定することで,2軸水平センサを試作した。その結果,感度の電解液依存性と耐振動性を確認した。

シソーラス用語： *傾斜計 ,  *電解液 ,  気泡 ,  *静電容量
準シソーラス用語： *水平センサ

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (2件)：

• ABD MANAF, A. B. One-Side-Electrode-Type Fluid-Based Inclinometer Combined with CMOS Circuitry. Sensors and Materials. 2007, 19, 7, 417-434
• ABD MANAF, A. B. Characterization of Miniaturized One-Side-Electrode-Type Fluid-Based Inclinometer. Sensors and Actuators A. 2008, 144, 74-82

タイトルに関連する用語 (4件)： 電解液 ,  水平センサ ,  試作 ,  評価