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J-GLOBAL ID：200902291608918783   整理番号：06A0752310

位相制御した多光束レーザー干渉ビームによる周期構造の作製

著者 (11件)： 神成謙太 (北大 電子科研) ,  神成謙太 (JST-CREST) ,  近藤敏明 (首都大学東京) ,  SEET Kock Khuen (北大 電子科研) ,  松尾繁樹 (徳島大) ,  上野貢生 (北大 電子科研) ,  上野貢生 (JST-CREST) ,  JOUDKAZIS Saulius (北大 電子科研) ,  JOUDKAZIS Saulius (JST-CREST) ,  三澤弘明 (北大 電子科研) ,  三澤弘明 (JST-CREST)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 67th  号： 3  ページ： 951  発行年： 2006年08月29日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *周期構造 ,...

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分類 (3件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 位相制御 ,  光束 ,  レーザー干渉 ,  ビーム ,  周期構造 ,  作製