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J-GLOBAL ID：200902291890609593   整理番号：04A0512851

輪郭形状測定のための光触針式変位センサの開発

Development of an Optical Stylus Displacement Sensor for Surface Profiling Measurement

著者 (2件)： 深津拡也 (東京都工高専) ,  柳和久 (長岡技科大 工)
資料名： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
巻： 70  号： 694  ページ： 1737-1742  発行年： 2004年06月25日 
JST資料番号： F0045B  ISSN： 0387-5024  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 現在市販されている光触針式輪郭測定機で実加工面を測定すると,...

シソーラス用語： 輪郭 ,...

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分類 (2件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  工作機械要素,ジグ,チャック  (QC01020Z)

引用文献 (8件)：

• BRODMANN, R. In-process Optical Metrology for Precision Machining. Proc. SPIE. 1987, 802, 165
• 三井公之. 高感度非接触粗さ計の開発. 精密工学会誌. 1987, 53, 2, 328
• KOHNO, T. High Precision Optical Surface Sensor. Appl. Opt. 1988, 27, 103
• BROWN, A. J. C. High speed optical measurement of 3D surfaces. Proc. SPIE. 1992, 2008, 150
• 真下寛治. 3次元自由曲面形状の光非接触測定装置. 精密工学会誌. 1993, 59, 7, 1091

タイトルに関連する用語 (4件)： 輪郭形状 ,  触針 ,  変位センサ ,  開発