文献

J-GLOBAL ID：200902291951022990   整理番号：07A0478778

一定の電圧の印加されたLa₂O₃-Al₂O₃によって構成される複合薄膜における局所的な電荷捕獲サイトの振る舞い

Behavior of Local Charge-Trapping Sites in La₂O₃-Al₂O₃ Composite Films under Constant Voltage Stress

著者 (6件)： SAGO Toshifumi (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  SEKO Akiyoshi (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  SAKASHITA Mitsuo (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  SAKAI Akira (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  OGAWA Masaki (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  ZAIMA Shigeaki (Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 46  号： 4B  ページ： 1879-1884  発行年： 2007年04月30日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 一定の電圧の印加されたLa₂O<sub...

シソーラス用語： *酸化ランタン ,...

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分類 (1件)： 誘電体一般  (BM05010F)

引用文献 (19件)：

• R. O’Connor, G. Hughes, R. Degraeve, and B. Kaczer: Microelectron. Eng.77(2005)302.
• F. Lime, K. Oshima, M. Cassé, G. Ghibaudo, S. Cristoloveanu, B. Guillaumot, and H. Iwai: Solid-State Electron.47(2003)1617.
• S. Rhee and J. Lee: Microelectron. Reliab.45(2005)1051.
• N. Novkovski and E. Atanassova: Appl. Surf. Sci.252(2006)3833.
• C. Zhao, M. Zahid, J. Zhang, G. Groeseneken, R. Degraeve, and S. Gendt: Microelectron. Eng.80(2005)366.

タイトルに関連する用語 (5件)： 印加 ,  La2O3 ,  Al2O3 ,  薄膜 ,  電荷捕獲