容量結合ラジオ周波数水素放電  動特性の役割

MARQUES L.; JOLLY J.; ALVES L. L.

文献

J-GLOBAL ID：200902294773075315 整理番号：07A0992591

容量結合ラジオ周波数水素放電動特性の役割

Capacitively coupled radio-frequency hydrogen discharges: The role of kinetics

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=07A0992591&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=07A0992591&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0266A") }}

著者 (3件)： , ,
資料名：
巻： 102 号： 6 ページ： 063305 発行年： 2007年09月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

この論文では,異なるrf印加電圧(V<sub>rf</sub...

,...

続きはJDreamIII（有料）にて {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=07A0992591&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0266A") }}

気体放電

, , , , ,

前のページに戻る

容量結合ラジオ周波数水素放電 動特性の役割

容量結合ラジオ周波数水素放電動特性の役割