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J-GLOBAL ID：200902295081919056   整理番号：05A0074238

薄膜シリコン 成長プロセスと太陽電池への応用

Thin-Film Silicon-Growth Process and Solar Cell Application-

著者 (1件)： MATSUDA A (Tokyo Univ. Sci., Chiba, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 43  号： 12  ページ： 7909-7920  発行年： 2004年12月15日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SiH₄とH₂...

シソーラス用語： *ケイ素 ,...

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分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  太陽電池  (NC03084O)

引用文献 (53件)：

• 1) W. E. Spear and P. G. LeComber: Solid State Commun. 17 (1975) 1193.
• 2) C. R. Wronski, D. E. Carlson and R. E. Daniel: Appl. Phys. Lett. 29 (1976) 602.
• 3) T. Moustakas: Semiconductors and Semimetals 21A, ed. J. Pancove (Academic Press, New York, 1984) p. 55.
• 4) T. Saito, S. Muramatsu, T. Shimada and M. Migitaka: Appl. Phys. Lett. 42 (1983) 678.
• 5) T. Fuyuki, K.-Y. Du, S. Okamoto, S. Yasuda, T. Kimoto, M. Yoshimoto and H. Matsunami: J. Appl. Phys. 64 (1988) 2380.

タイトルに関連する用語 (6件)： 薄膜 ,  シリコン ,  成長 ,  プロセス ,  太陽電池 ,  応用