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J-GLOBAL ID：200902296391894629   整理番号：04A0350214

テラヘルツエミッション顕微鏡によるMOSトランジスタの非接触測定

著者 (5件)： 山下将嗣 (理研) ,  紀和利彦 (大阪大 超伝導フォトニクス研セ) ,  斗内政吉 (大阪大 超伝導フォトニクス研セ) ,  二川清 (NECエレクトロニクス) ,  川瀬晃進 (理研)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 51st  号： 3  ページ： 1224  発行年： 2004年03月28日 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *光学顕微鏡法 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (5件)： テラヘルツ ,  エミッション ,  顕微鏡 ,  MOSトランジスタ ,  非接触測定