コバルトシリサイド化に及ぼすプラズマ損傷の影響

KIMURA T.; KUGIMIYA K.; OHCHI T.; FUKE K.; KATAOKA T.; TATSUMI T.; KAMIDE Y.

文献

J-GLOBAL ID：200902296657247659 整理番号：07A0666493

コバルトシリサイド化に及ぼすプラズマ損傷の影響

Impact of plasma damage on cobalt silicidation

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資料名：

Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)

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巻： 25 号： 4 ページ： 1068 発行年： 2007年07月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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