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J-GLOBAL ID：200902296922845857   整理番号：07A0798564

共焦点型3次元蛍光X線分析装置の開発と微小部深さ方向分析への応用

Development of Confocal 3D X-ray Fluorescence Instrument and Its Applications to Micro Depth Profiling

著者 (4件)： 辻幸一 (大阪市大 大学院工学研究科) ,  辻幸一 (JST-PRESTO) ,  野寺雄太 (大阪市大 大学院工学研究科) ,  中野和彦 (大阪市大 大学院工学研究科)
資料名： 表面科学  (JSSSJ)
巻： 28  号： 8  ページ： 447-452  発行年： 2007年08月10日 
JST資料番号： F0940B  ISSN： 0388-5321  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： X線を微小領域に集光するポリキャピラリーX線レンズと共焦点型...

シソーラス用語： 共焦点顕微鏡 ,...

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分類 (2件)： X線技術  (BA02060D) ,  分析機器  (CC02020S)

引用文献 (11件)：

• 1) M.A. Kumakhov: Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 48, 283 (1990).
• 2) Y. Yan and X. Ding: Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 82, 121 (1993).
• 3) N. Gao and N. I. Y. Ponomarev: X-Ray Spectrom. 32, 186 (2003).
• 4) N. Gao and K. Janssens: “Polycapillary X-ray Optics”, in X-Ray Spectrometry: Recent Technological Advances, ed. by K. Tsuji, J. Injuk and R.E. Van Grieken (John Wiley & Sons, 2004).
• 5) 辻 幸一:ぶんせき8月号,378 (2006).

タイトルに関連する用語 (8件)： 共焦点 ,  3次元 ,  蛍光X線分析装置 ,  開発 ,  微小 ,  深さ方向 ,  分析 ,  応用