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J-GLOBAL ID：200902297363532335   整理番号：08A0239291

メタンプラズマを用いてイオン注入した高速度工具鋼の表面特性

Surface Properties on High-Speed Tool Steel Implanted with Methane Plasma

著者 (6件)： 三尾淳 (茨城大 大学院理工学研究科) ,  三尾淳 (東京都産業技術研究セ) ,  川口雅弘 (東京都産業技術研究セ) ,  青木才子 (東京都産業技術研究セ) ,  森河和雄 (東京都産業技術研究セ) ,  鈴木秀人 (茨城大 工)
資料名： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻： 59  号： 3  ページ： 185-189  発行年： 2008年03月01日 
JST資料番号： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： メタンガスを用いて高速度工具鋼にプラズマイオン注入処理を行い,処理時間の増加にともなう試験片温度の上昇,炭素イオン注入層の深さ方向分布と摩擦摩耗特性の関係を調べた。その結果,温度上昇による基板の変化をともなわず,炭素イオン注入層及びDLC膜形成層の両者による摩擦係数低減が可能であり,工具への適用が期待できることがわかった。

シソーラス用語： *高速度鋼 ,  *イオン注入 ,  加工時間 ,  温度変動 ,  深さプロフィル ,  摩擦係数 ,  DLC膜 ,  *炭素 ,  メタンガス
準シソーラス用語： プラズマ浸漬イオン注入

分類 (2件)： 気相めっき  (WC08022K) ,  金属の放射線による構造と物性の変化  (BK16122N)

引用文献 (13件)：

• 1) J. R. Conrad, J. L. Radtke, R. A. Dodd, F. J. Worzala, and N. C. Tran ; J. Appl. Phys., 62, 4591 (1987).
• 2) W. Ensinger, K. Volz, K. Baba and R. Hatada ; Nucl. Instr. and Meth., B 257, 692 (2007).
• 3) J. V. Mantese, I. G. Brown, N. W. Cheung and G. A. Collins ; MRS Bulletin August, 52 (1996).
• 4) 表面技術協会編;PVD・CVD皮膜の基礎と応用, p. 211 (槇書店, 1994).
• 5) J. Chen, J. Blanchard, J. R. Conrad and R. A. Dodd ; Surf. Coat. Technol., 53, 267 (1992).

タイトルに関連する用語 (5件)： メタン ,  プラズマ ,  イオン注入 ,  高速度工具鋼 ,  表面特性