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J-GLOBAL ID：200902299634328014   整理番号：08A0545965

LMIを用いた位置指令生成による機台振動抑制を考慮した高速高精度位置決め制御

Fast and Precise Positioning Using LMI-Based Command Shaping Considering Stand Vibration Suppression

著者 (4件)： 川瀬大介 (名古屋工大 大学院工学研究科) ,  岩崎誠 (名古屋工大 大学院工学研究科) ,  川福基裕 (名古屋工大 大学院工学研究科) ,  平井洋武 (名古屋工大 大学院工学研究科)
資料名： 電気学会論文誌 D  (IEEJ Transactions on Industry Applications)
巻： 128  号： 6  ページ： 750-757  発行年： 2008年06月01日 
JST資料番号： X0451A  ISSN： 0913-6339  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 機械振動抑制を考慮した高速高精度位置決め制御のための位置指令を,制御入力に制約を加えた上で,位置指令を,制御入力に制約を加えた上で,位置指令のステップ数と機台変位の2つの観点から最適化を行うためLMI(Linear Matrix Inequality:線形行列不等式)による定式化を用いて生成した。そこでは,それらの制約に対して求まる最小値を基準にして,速応性と機台振動抑制を両立させつつ,高周波成分を抑圧した制御入力を生成した。そして,産業用テーブル位置決め機構を模擬した供試装置を対象に提案法を適用し,実際によりその性能を検証した。提案法の有効性が示された。

シソーラス用語： *位置決め ,  *テーブル【機械要素】 ,  *防振 ,  *不等式 ,  ロバスト制御 ,  二自由度振動系 ,  シミュレーション
準シソーラス用語： *振動抑制 ,  *LMI ,  *線形行列不等式 ,  位置指令

分類 (1件)： プロセス制御  (IC03040B)

引用文献 (13件)：

• (1) J. Otsuka, S. Hayama, and Y. Ohashi: “Present and Future Technologies of Precision and Ultraprecision Positioning”, JSPE, Vol. 67, No. 2, pp. 173-178 (2001) (in Japanese)
• 大塚二郎・羽山定治・大橋康二: 「精密・超精密位置決めの現状と将来予想」, 精密工学会誌, Vol. 67, No. 2, pp. 173-178 (2001)
• (2) O. Horiuchi: “Speed Up of Precision/Ultraprecision Positioning—Ball Screw vs. Linear Motor—”, JSPE, Vol. 67, No. 2, pp. 179-183 (2001) (in Japanese)
• 堀内 宰: 「精密・超精密位置決めの高速化—ボールねじ対リニアモータ—」, 精密工学会誌, Vol. 67, No. 2, pp. 179-183 (2001)
• (3) A. Yamamoto, H. Miyagawa, H. Hamamatsu, S. Goto, and M. Nakamura: “High-Speed Positioning Control for Linear Motor Driving Table without Base Vibration”, JSPE, Vol. 70, No. 5, pp. 645-650 (2004) (in Japanese)

タイトルに関連する用語 (4件)： LMI ,  指令 ,  振動抑制 ,  位置決め制御