抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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電子機器や半導体デバイス等の微細化,低動作電圧化により,静電気放電(ESD)による放電電流流入による誤作動や破壊等の静電気障害が問題となっている。電子機器の静電気耐性評価には,IEC61000-4-2準拠の単一の放電電流波形を用いるが,現実に発生するESDの放電電流の波形形状などの特性は異なるため,静電気障害のモードや大きさに差異が現れる。本文は,帯電した人体の指先から,曲率半径の異なる接地電極へのESDの特性を調査し,次に,帯電した人体が金属の工具等を持った状態でのESDを想定した金属電極間ESDにおいて,帯電金属体の形状が放電電流に及ぼす影響の検討を行った。帯電金属体の形状がESDの放電電流波形と放射電磁ノイズに及ぼす影響について,高電圧側電極の曲率半径を0.18mm~15mmまでの計10種類に変化させた場合の放電電流波形,放電開始ギャップ長,第1ピークの立ち上がり峻度,及び放射電磁ノイズに関する検討結果を報告した。