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J-GLOBAL ID：200902299765309414   整理番号：05A0803530

超純水中で表面カルボキシル化黒鉛電極を用いた電気化学エッチング

Electrochemical etching using surface carboxylated graphite electrodes in ultrapure water
著者 (6件)：
ICHII Yoshio

ICHII Yoshio について

(Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1, Yamadaoka, Suita, Osaka ...)

Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1, Yamadaoka, Suita, Osaka ... について

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MORI Yuzo

MORI Yuzo について

(Res. Center for Ultraprecision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1, Yamadaoka, Suita ...)

Res. Center for Ultraprecision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1, Yamadaoka, Suita ... について

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HIROSE Kikuji

HIROSE Kikuji について

(Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1, Yamadaoka, Suita, Osaka ...)

Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1, Yamadaoka, Suita, Osaka ... について

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ENDO Katsuyoshi

ENDO Katsuyoshi について

(Res. Center for Ultraprecision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1, Yamadaoka, Suita ...)

Res. Center for Ultraprecision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1, Yamadaoka, Suita ... について

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YAMAUCHI Kazuto

YAMAUCHI Kazuto について

(Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1, Yamadaoka, Suita, Osaka ...)

Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1, Yamadaoka, Suita, Osaka ... について

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GOTO Hidekazu

GOTO Hidekazu について

(Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1, Yamadaoka, Suita, Osaka ...)

Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1, Yamadaoka, Suita, Osaka ... について


資料名：
Electrochimica Acta  (Electrochimica Acta)

Electrochimica Acta について


巻： 50  号： 27  ページ： 5379-5383  発行年： 2005年09月20日 
JST資料番号： B0535B  ISSN： 0013-4686  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
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電気化学エッチングは,被加工物の物性を劣化させることなく原子...
シソーラス用語：
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*電解エッチング

電解エッチング について

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カルボキシル化

カルボキシル化 について


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分類 (2件)：
分類
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電気化学反応 
(CB07050F)

電気化学反応 について

,  固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (4件)：
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純水

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カルボキシル化

カルボキシル化 について

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黒鉛電極

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電気化学エッチング

電気化学エッチング について


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