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J-GLOBAL ID：200902299834311752   整理番号：07A1055979

銅めっき薄膜機械特性の微細組織依存性

Effect of Micro Texture of Electroplated Copper Thin Films on Their Mechanical Properties

著者 (3件)： 玉川欣治 (東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター) ,  作谷和彦 (東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター) ,  三浦英生 (東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター)
資料名： 材料  (Journal of the Society of Materials Science, Japan)
巻： 56  号： 10  ページ： 907-912 (J-STAGE)  発行年： 2007年 
JST資料番号： F0385A  ISSN： 0514-5163  CODEN： ZARYA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 今後半導体デバイス製造工程において多用される,めっき法で作製...

シソーラス用語： *銅 ,...

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分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  金属の機械的性質  (BL01022T)

引用文献 (9件)：

• 1) International Technology Roadmap for Semiconductors 2005 (2005).
• 2) M. Yu, B. Files, S. Arepalli and R. Ruoff, “Tensile loading of ropes of single wall carbon nanotubes and their mechanical properties”, Physical Review Letters, Vol.84, No.24, pp.5552-5555 (2000).
• 3) J. Salvetat, J. Bonard, N. Thomson and A. Kulik, “Mechanical properties of carbon nanotubes”, Applied Physics A-Materials Science & Processing, Vol.69, No.3, pp.255-260 (1999).
• 4) M. Kiuchi, Y. Isono and S. Sugiyama, “Development of on-chip micro tensile testing device for mechanical-electrical characteristics of carbon nanowires”, Proc. of Mechanical Engineering Congress, 2004 Japan, Vol.1, pp.367-368 (2004).
• 5) H. Kito, T. Kikuchi and Y. Isono, “Development of micro fatigue tester based on AFM technique for MEMS materials”, Proc. of Mechanical Engineering Congress, 2004 Japan, Vol.1, pp.371-372 (2004).

タイトルに関連する用語 (5件)： 銅めっき ,  薄膜 ,  機械特性 ,  微細組織 ,  依存性