特許

J-GLOBAL ID：200903000073289772

耐プラズマ部材およびそれを用いたプラズマ処理装置

発明者： 宮崎 晃 ,  森田 敬司 ,  永坂 幸行 ,  守谷 修司
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社 ,  東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-240887
公開番号（公開出願番号）：特開2000-072529
出願日： 1998年08月26日
公開日（公表日）： 2000年03月07日
要約：

【要約】【課題】この発明は、アルミナ粒子の脱落がなくしかも機械的強度にも優れ、さらに堆積したポリマーの剥離を抑制し、その結果として堆積したポリマーの除去を行う装置のクリーニングサイクルを長くすることが可能な耐プラズマ部材およびそれを用いたプラズマ処理装置を得ようとするものである。【解決手段】この発明は、平均結晶粒径が18〜45μm、表面粗さがRaで0.8〜3.0μm、かさ密度が3.90g/cm3 以上の緻密質アルミナ焼結体であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

プラズマ処理装置の反応室内で用いられ、平均結晶粒径が18〜45μm、表面粗さがRaで0.8〜3.0μm、かさ密度が3.90g/cm3 以上の緻密質アルミナ焼結体であることを特徴とする耐プラズマ部材。

IPC (5件)：

C04B 35/10 ,  B01J 19/00 ,  B01J 19/08 ,  H01L 21/3065 ,  H05H 1/46

FI (5件)：

C04B 35/10 Z ,  B01J 19/00 H ,  B01J 19/08 E ,  H05H 1/46 M ,  H01L 21/302 B

Fターム (29件)：

4G030AA03 ,  4G030AA36 ,  4G030AA37 ,  4G030BA01 ,  4G030BA20 ,  4G030BA32 ,  4G030CA04 ,  4G030GA05 ,  4G030GA14 ,  4G075AA30 ,  4G075BC06 ,  4G075CA02 ,  4G075CA03 ,  4G075CA47 ,  4G075EC21 ,  4G075FB04 ,  4G075FC11 ,  4G075FC15 ,  5F004AA16 ,  5F004BA04 ,  5F004BB13 ,  5F004BB21 ,  5F004BB22 ,  5F004BB29 ,  5F004DA01 ,  5F004DA02 ,  5F004DA16 ,  5F004DA23 ,  5F004DB03

引用特許：

審査官引用 (3件)

• プラズマ生成用ガス通過管
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-152010   出願人：日本碍子株式会社
• 特開昭61-289634
  
• アルミナ質ベルジヤ-
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-016149   出願人：東芝セラミックス株式会社