特許
J-GLOBAL ID：200903000094508512

化学増幅形フォトレジスト製造用共重合体及びこれを含めた化学増幅形陽性フォトレジスト組成物

発明者：
ジオン ヒュンピョオ

ジオン ヒュンピョオ について

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キム セオジュ

キム セオジュ について

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パク ジョーヒュオン

パク ジョーヒュオン について

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リー ジョンバム

リー ジョンバム について


出願人/特許権者：
コーリア クムホー ペトロケミカル カンパニーリミテッド

コーリア クムホー ペトロケミカル カンパニーリミテッド について


代理人 (1件)： 中村 和年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-287468
公開番号（公開出願番号）：特開2001-114822
出願日： 1999年10月08日
公開日（公表日）： 2001年04月24日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 化学増幅形フォトレジスト製造用共重合体及びこれを含有する陽性フォトレジスト組成物を提供する。【解決手段】 次の化学式1で表示される反復単位からなる化学増幅形フォトレジスト製造用共重合体と、これを基礎樹脂とし、これに酸発生剤及び添加剤を添加した化学増幅形陽性フォトレジスト組成物。前記式で、R1、R2、R3及びR4はそれぞれ独立なものとして、水素原子又は低級アルキル基で、R5、R6、R7及びR8は水素原子、炭素原子数1〜8のアルキル基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基又はハロゲン原子であり、R9は次の化学式2で表示される化合物であり、前記式で、R10とR11はそれぞれ独立的に水素原子又は炭素原子数1〜6の直鎖状又は分枝鎖状のアルキル基で、R12は炭素原子数1〜10の直鎖状、分枝鎖状又は環状のアルキル基である。Amは-NR13R14
請求項（抜粋）：
次の化学式1(化1)で表示され、ポリスチレン換算重量平均分子量が1,000〜1,000,000の化学増幅形フォトレジスト製造用共重合体【化1】前記式で、R<SB>1</SB>、R<SB>2</SB>、R<SB>3</SB>及びR<SB>4</SB>はそれぞれ独立なものとして、水素原子又は低級アルキル基で、R<SB>5</SB>、R<SB>6</SB>、R<SB>7</SB>及びR<SB>8</SB>は水素原子、炭素原子数1〜8のアルキル基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基又はハロゲン原子で、hとiは0〜8の定数で、k,l,m及びnはそれぞれ反復単位を示す数として、0.3<k/(k+l+m+n)<0.9、 0≦l/(k+l+m+n)<0.6、 0≦m/(k+l+m+n)<0.6、そして0.01<n/(k+l+m+n)<0.3の条件を満足する。そして、k+l+m+n=1を満足し、lとmは同時に0になることができなく、同時に0でないこともできる。R<SB>9</SB>は次の化学式2(化2)で表示される化合物であり、【化2】前記式で、R<SB>10</SB>とR<SB>11</SB>はそれぞれ独立的に水素原子又は炭素原子数1〜6の直鎖状又は分枝鎖状のアルキル基で、R<SB>12</SB>は炭素原子数1〜10の直鎖状、分枝鎖状又は環状のアルキル基である。Amは-NR<SB>13</SB>R<SB>14</SB>(ここで、R<SB>13</SB>とR<SB>14</SB>はそれぞれ独立なものとして、水素原子、炭素原子数1〜8のアルキル基、アリール基又はフェニル基である)、環状2がアミン類及び酸素、又は硫黄原子が含まれた環状2がアミン類である。
IPC (6件)：
C08F 8/14 ,  C08L 25/18 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027
FI (6件)：
C08F 8/14 ,  C08L 25/18 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (56件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA10 ,  2H025AA11 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BE08 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ10 ,  2H025CB17 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CB55 ,  2H025CC02 ,  2H025CC04 ,  2H025CC06 ,  2H025CC20 ,  4J002BC101 ,  4J002CH022 ,  4J002EB126 ,  4J002EQ016 ,  4J002EU186 ,  4J002EV256 ,  4J002EV296 ,  4J002EY026 ,  4J002FD206 ,  4J002FD312 ,  4J002GP03 ,  4J100AB07P ,  4J100AB07Q ,  4J100AB07R ,  4J100AB07S ,  4J100BA02Q ,  4J100BA02R ,  4J100BA02S ,  4J100BA03P ,  4J100BA04Q ,  4J100BA05Q ,  4J100BA15Q ,  4J100BA15R ,  4J100BA15S ,  4J100BA16Q ,  4J100BC79Q ,  4J100BC79R ,  4J100BC79S ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100JA38
引用特許：
審査官引用 (2件)

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