特許

J-GLOBAL ID：200903000118905160

発光素子、発光素子の製造方法、および基板処理装置

発明者： 茂山 和基 ,  八木 靖司 ,  渡辺 伸吾 ,  河村 忠一 ,  吉野 公彦 ,  大見 忠弘
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  株式会社豊田自動織機 ,  国立大学法人東北大学
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-036916
公開番号（公開出願番号）：特開2007-220359
出願日： 2006年02月14日
公開日（公表日）： 2007年08月30日
要約：

【課題】電極の厚さのばらつきが少ないとともに有機層のダメージが少なく、高品質な発光素子を提供する。【解決手段】 第1の電極と、前記第1の電極に対向する第2の電極と、前記第1の電極と前記第2の電極の間に形成された発光層を含む有機層と、を有する発光素子であって、前記第2の電極は、前記有機層上に形成された該有機層を保護する導電性の保護層と、該保護層上に形成された導電性の主電極層とを含むことを特徴とする発光素子。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1の電極と、 前記第1の電極に対向する第2の電極と、 前記第1の電極と前記第2の電極の間に形成された発光層を含む有機層と、を有する発光素子であって、 前記第2の電極は、前記有機層上に形成された該有機層を保護する導電性の保護層と、該保護層上に形成された導電性の主電極層とを含むことを特徴とする発光素子。

IPC (6件)：

H05B 33/26 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/24 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/22

FI (6件)：

H05B33/26 Z ,  H05B33/14 A ,  H05B33/10 ,  H05B33/24 ,  C23C14/06 Q ,  C23C14/22 C

Fターム (19件)：

3K007AB12 ,  3K007AB18 ,  3K007CB04 ,  3K007CC01 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029BA03 ,  4K029BA04 ,  4K029BA62 ,  4K029BB02 ,  4K029BC03 ,  4K029BD09 ,  4K029CA01 ,  4K029CA05 ,  4K029DB18 ,  4K029DB21 ,  4K029KA01 ,  4K029KA09

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 成膜装置および表示パネルの製造装置とその方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-352602   出願人：ソニー株式会社

審査官引用 (3件)

• 有機EL素子およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-331472   出願人：出光興産株式会社, 日本真空技術株式会社
• 有機発光デバイスのための電極付着
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平10-512367   出願人：ケンブリッジディスプレイテクノロジーリミテッド
• エレクトロルミネッセンス素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-041058   出願人：三洋電機株式会社