紫外光用光学ガラス

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：内田明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-202126
公開番号（公開出願番号）：特開平8-067530
出願日： 1994年08月26日
公開日（公表日）： 1996年03月12日
要約：

【要約】【目的】紫外光用光学ガラス【構成】紫外線波長域のレーザー光に使用される紫外光用光学ガラスにおいて、該光学ガラスがOH基濃度10ppm以上かつフッ素を1重量%以上含有してなる合成石英ガラスであることを特長とする紫外光用光学ガラス。【効果】レキシマレーザ等に対する耐レーザー特性が極めて優れ、紫外領域で使用される光学部品、フォトマスク基板、ステッパ用光学材等の紫外光用光学ガラスとして有利に使用できる。

請求項（抜粋）：

紫外線波長域のレーザ光に使用される紫外光用光学ガラスにおいて、該光学ガラスがOH基濃度10ppm以上かつフッ素を1重量%以上含有してなる合成石英ガラスであることを特徴とする紫外光用光学ガラス。

IPC (2件)：

C03C 4/00 , C03C 3/06

引用特許：

審査官引用 (6件)

透明石英ガラスとその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-042252 出願人：旭硝子株式会社
特開平4-195101
特開平3-088742

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