特許
J-GLOBAL ID：200903000228809140

表面プラズモン共鳴を利用した測定装置

発明者：
粟村 大吉

粟村 大吉 について


出願人/特許権者：
レーザーテック株式会社

レーザーテック株式会社 について


代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-082528
公開番号（公開出願番号）：特開平10-281981
出願日： 1997年04月01日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：
【要約】【課題】 一層優れた測定感度及び測定精度を有する表面プラズモン共鳴を利用した測定装置を提供する。【解決手段】 測定光を放出する光源としてレーザ光源(1)を用い、レーザ光をビーム偏向装置により所定の周波数で偏向する。偏向されたレーザ光を収束性レンズ(7)を用いてプリズム素子(8)に形成した金属薄膜(9)に入射させる。収束性レンズ(7)は、その前側焦点がビーム偏向装置の出射点と一致させその後側焦点が金属薄膜(9)と一致するように配置する。この結果、金属薄膜(9)には入射角が時間的に連続して変化するレーザ光が入射する。金属薄膜で全反射した光は、試料に応じて特定の入射角の位置で光吸収が発生する。この全反射した光ビームをリニアイメージセンサ(12)で受光する。リニアイメージセンサ(12)の各受光素子の配置位置は入射角に対応しているから、各受光素子に蓄積された電荷を読出すことによりリアルタイムでR-θ曲線を得ることができる。
請求項（抜粋）：
レーザビームを放出するレーザ光源と、このレーザビームを偏向するビーム偏向装置と、表面プラズモン励起用の金属薄膜を支持する光学素子と、前記偏向されたレーザビームを前記光学素子の金属薄膜に入射角が連続して変化するように入射させる集束性レンズと、前記ビーム偏向装置のビーム偏向方向と対応する方向に沿って配列した複数の受光素子を有するリニアイメージセンサと、前記ビーム偏向装置の駆動を制御するビーム偏向装置駆動回路と、前記リニアイメージセンサの読出を制御するリニアイメージセンサ読出回路とを具えることを特徴とする表面プラズモン共鳴を利用した測定装置。
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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