特許

J-GLOBAL ID：200903000296238118

マイクロ生化学デバイス、マイクロ生化学デバイスの製造方法及びマイクロ生化学デバイス用型の製造方法

発明者： 三井 宗洋 ,  諸星 公貴 ,  寺本 俊夫
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (1件)： 家入 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-250878
公開番号（公開出願番号）：特開2007-062132
出願日： 2005年08月31日
公開日（公表日）： 2007年03月15日
要約：

【課題】 複雑な立体形状の形成が可能であって、精度良く、迅速かつ簡便に形成することができるマイクロ生化学デバイス等の製造方法等を提供すること。【解決手段】 本発明に係るマイクロ生化学デバイス等の製造方法は、投影領域を単位として一括露光を繰り返すことにより、光硬化性樹脂液に選択的に光を照射して硬化樹脂層を形成し、該硬化樹脂層を順次積層して三次元形状を形成するものである。本発明は、マイクロ生化学デバイス等の構造が、オーバーハング部を有する複雑な三次元構造である場合に、特に有効である。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

投影領域を単位として一括露光を繰り返すことにより、光硬化性樹脂液に選択的に光を照射して硬化樹脂層を形成し、該硬化樹脂層を順次積層して三次元構造を形成することを特徴とする、マイクロ生化学デバイスの製造方法。

IPC (3件)：

B29C 67/00 ,  B81C 5/00 ,  G01N 37/00

FI (3件)：

B29C67/00 ,  B81C5/00 ,  G01N37/00 101

Fターム (9件)：

4F213AA44 ,  4F213AC04 ,  4F213AD04 ,  4F213WA25 ,  4F213WL04 ,  4F213WL12 ,  4F213WL34 ,  4F213WL43 ,  4F213WL76

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 立体構造素子およびその製造方法、光スイッチ、マイクロデバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-224530   出願人：株式会社ニコン
• マイクロデバイスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-164460   出願人：住友重機械工業株式会社
• 特開昭56-144478号公報
  
• 特開昭62-35966号公報