特許
J-GLOBAL ID：200903000311121206

インクジェット式記録ヘッド、その製造方法および圧電体素子

発明者：
橋爪 勉

橋爪 勉 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-076248
公開番号（公開出願番号）：特開平10-264384
出願日： 1997年03月27日
公開日（公表日）： 1998年10月06日
要約：
【要約】【課題】 白金の還元作用による圧電特性の劣化が少ない圧電体素子の構造を提供し、もってインクジェット式記録ヘッドや圧電体素子に対する信頼性を高めることを目的。【解決手段】 インクが充填される圧力室基板2の少なくとも一面に、1以上の圧電体素子4を備えた振動板3が設けられたインクジェット式記録ヘッドであって、圧電体素子4は、電圧を印加することにより体積変化を生ずる圧電体層41に、圧電体層の加水分解による還元作用を妨げる組成からなる電極膜42、43を積層して構成される。
請求項（抜粋）：
インクが充填される圧力室基板の少なくとも一面に、1以上の圧電体素子を備えた振動板が設けられたインクジェット式記録ヘッドであって、前記圧電体素子は、電圧を印加することにより体積変化を生ずる圧電体層に、当該圧電体層に混入した水分の還元作用を妨げる組成からなる電極膜を積層して構成されることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
IPC (4件)：
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/09
FI (3件)：
B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 C
引用特許：
審査官引用 (4件)
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