特許

J-GLOBAL ID：200903000342653222

フーリエ変換分光位相変調偏光解析法

発明者： 橘 邦英
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-147411
公開番号（公開出願番号）：特開平8-015130
出願日： 1994年06月29日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：

【要約】【目的】 フーリエ変換赤外分光法と位相変調偏光解析法を結び付けて、高速・高感度の赤外偏光解析が可能となる偏光解析法。【構成】 試料7入射側に偏光子3と位相変調素子4を配置し、反射側に検光子5と受光器6を配置して、偏光子3からでる光のP偏光とS偏光の間に周波数ωで変調された位相差δを導入し、反射光を検光子5を通して検出し、その直流成分と周波数ωの成分と周波数2ωから、反射の際のP偏光とS偏光の位相差の変化分Δと振幅反射率比角Ψとの2つの偏光解析パラメータを求める際、光源1から受光器6に到る光路中にフーリエ分光のための干渉計2を配置し、位相変調及び干渉変調を受けた光を受光器6で測定し、得られた干渉光信号の直流成分、周波数ωの成分、周波数2ωの成分の3成分を検出し、これら3成分をフーリエ変換して得られる値からΔ、Ψを求める。

請求項（抜粋）：

試料入射側に偏光子と位相変調素子を順に配置し、試料反射側に検光子と受光器を順に配置して、偏光子で直線偏光にされた光のP偏光成分とS偏光成分の間に周波数ωで変調された位相差δを導入し、反射光を検光子を通して検出し、その直流成分と周波数ωの成分と周波数2ωの成分から、反射の際のP偏光とS偏光の位相差の変化分Δと振幅反射率比角Ψとの2つの偏光解析パラメータを求める位相変調偏光解析法において、光源から受光器に到る光路中にフーリエ分光のための干渉計を配置し、さらに、前記偏光子の方位角(P)が±45°、前記位相変調素子の方位角(M)が0°又は90°、前記検光子の方位角が(A)±45°(これらの方位角P、M、Aは相互に独立)となるように配置した状態で、位相変調及び干渉変調を受けた光を前記受光器で測定し、得られた干渉光信号の直流成分idc(x)、周波数ωの成分i1 (x)、周波数2ωの成分i2 (x)の3成分を検出し、これら3成分をフーリエ変換して得られるIdc(k),I1 (k),I2 (k)から次式(33)及び(34)に基づいて前記Δ、Ψを求めることを特徴とするフーリエ変換分光位相変調偏光解析法。 ±sin 2Ψ(k)sin Δ(k)=[I1 (k)/2J1 (δ0 (k))]/ [Idc(k)-I2 (k)J0 (δ0 (k))/2J2 (δ0 (k))] ・・・(33) ±sin 2Ψ(k)cos Δ(k)=[I2 (k)/2J2 (δ0 (k))]/ [Idc(k)-I2 (k)J0 (δ0 (k))/2J2 (δ0 (k))] ・・・(34)ただし、δ0 (k)は、前記位相変調素子の変調振幅であり、式(33)及び(34)における±の符号は次の表2による。

IPC (2件)：

G01N 21/21 ,  G01N 21/35

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 赤外線エリプソメータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-000315   出願人：サントルナシオナルドラルシェルシュシアーンティフィク
• 複屈折測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-083598   出願人：旭光学工業株式会社
• 特開昭64-035244