特許
J-GLOBAL ID：200903000384471566

光吸収性反射防止体

発明者：
山田 朋広

山田 朋広 について

, 
高木 悟

高木 悟 について


出願人/特許権者：
旭硝子株式会社

旭硝子株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-256060
公開番号（公開出願番号）：特開2002-071902
出願日： 2000年08月25日
公開日（公表日）： 2002年03月12日
要約：
【要約】【課題】低い表面抵抗値、低反射性能、耐熱性を有し、可視域において透過率がほぼ一定な光吸収性反射防止体の提供。【解決手段】基体10側から順に、第1の光吸収膜11、屈折率が1.9〜2.7の高屈折率膜12、第2の光吸収膜13、屈折率が1.35〜1.6の低屈折率膜14が形成されてなり、第1の光吸収膜11が、Ti、ZrおよびHfからなる群から選ばれる1種以上の金属とSiおよびAlからなる群から選ばれる1種以上の元素との合金からなる金属膜であり、第2の光吸収膜13が、Ti、ZrおよびHfからなる群から選ばれる1種以上の金属を含む金属膜または窒化物膜である光吸収性反射防止体。
請求項（抜粋）：
基体上に、基体側から順に、膜厚が1〜30nmの第1の光吸収膜、膜厚が20〜100nmの高屈折率膜、膜厚が1〜30nmの第2の光吸収膜、膜厚が50〜150nmの低屈折率膜が形成されてなる光吸収性反射防止体であって、第1の光吸収膜が、Ti、ZrおよびHfからなる群から選ばれる1種以上の金属とSiおよびAlからなる群から選ばれる1種以上の元素との合金からなる合金膜であり、高屈折率膜が波長400〜700nmにおいて1.9〜2.7の屈折率を有する膜であり、第2の光吸収膜が、前記高屈折率膜とは異なる組成からなり、かつ該第2の光吸収膜が、Ti、ZrおよびHfからなる群から選ばれる1種以上の金属からなる金属膜、該金属の窒化物膜、Ti、ZrおよびHfからなる群から選ばれる1種以上の金属とSiおよびAlからなる群から選ばれる1種以上の元素との合金からなる合金膜、または、該合金の窒化物膜であり、低屈折率膜が波長400〜700nmにおいて1.35〜1.6の屈折率を有する膜である光吸収性反射防止体。
IPC (5件)：
G02B 1/11 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 ,  B32B 15/04 ,  H01J 29/88
FI (5件)：
B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 A ,  B32B 15/04 B ,  H01J 29/88 ,  G02B 1/10 A
Fターム (80件)：
2K009AA05 ,  2K009BB02 ,  2K009CC02 ,  2K009CC03 ,  2K009CC06 ,  2K009CC14 ,  2K009DD04 ,  4F100AA05E ,  4F100AA12C ,  4F100AA12D ,  4F100AA12E ,  4F100AA13C ,  4F100AA16E ,  4F100AA17C ,  4F100AA20E ,  4F100AA21C ,  4F100AA22C ,  4F100AA25C ,  4F100AA27C ,  4F100AA28C ,  4F100AB01B ,  4F100AB01D ,  4F100AB10B ,  4F100AB10D ,  4F100AB11B ,  4F100AB11D ,  4F100AB12B ,  4F100AB12D ,  4F100AB19B ,  4F100AB19D ,  4F100AB31B ,  4F100AB31D ,  4F100AD04C ,  4F100AD04D ,  4F100AD05 ,  4F100AD05E ,  4F100AD08E ,  4F100AG00A ,  4F100AT00A ,  4F100BA05 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10E ,  4F100BA13 ,  4F100BA26 ,  4F100EH66 ,  4F100GB41 ,  4F100JA20B ,  4F100JA20C ,  4F100JA20D ,  4F100JA20E ,  4F100JD08 ,  4F100JD08B ,  4F100JD08D ,  4F100JD14B ,  4F100JD14D ,  4F100JG04 ,  4F100JJ03 ,  4F100JN06 ,  4F100JN06A ,  4F100JN06E ,  4F100JN08 ,  4F100JN18C ,  4F100JN18E ,  4F100JN30B ,  4F100JN30D ,  4F100YY00 ,  4F100YY00A ,  4F100YY00B ,  4F100YY00C ,  4F100YY00D ,  4F100YY00E ,  5C032AA02 ,  5C032DD02 ,  5C032DE01 ,  5C032DE03 ,  5C032DF05 ,  5C032DG01 ,  5C032DG02 ,  5C032DG04
引用特許：
審査官引用 (4件)
  • 光吸収体およびこれを用いた光学機器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-253823   出願人：松下電器産業株式会社
  • 光吸収性反射防止膜
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-371281   出願人：旭硝子株式会社
  • 反射防止膜
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-005606   出願人：住友化学工業株式会社
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