特許

J-GLOBAL ID：200903000404301700

除振装置

発明者： 海沼 正邦 ,  玉置 恵司 ,  藤田 知正 ,  珍田 寛
出願人/特許権者： 藤倉ゴム工業株式会社
代理人 (1件)： 三浦 邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-216835
公開番号（公開出願番号）：特開2002-031189
出願日： 2000年07月18日
公開日（公表日）： 2002年01月31日
要約：

【要約】【目的】 固定台と可動台との間にそれぞれ、可撓性気密部材を介して垂直方向に拡縮可能な圧力空気室と、水平方向に拡縮可能な圧力空気室とを形成した除振装置の低背化を図る。【構成】 水平方向の圧力空気室を形成する可撓性気密部材をダイアフラムから構成した除振装置。

請求項（抜粋）：

固定台と可動台との間に、可撓性気密部材を介してそれぞれ、垂直方向に拡縮可能な圧力空気室と、水平方向に拡縮可能な圧力空気室とを形成した除振装置において、上記水平方向に拡縮可能な圧力空気室を形成する可撓性気密部材を、ダイアフラムから構成したことを特徴とする除振装置。

IPC (3件)：

F16F 15/04 ,  F16F 9/04 ,  F16F 9/46

FI (4件)：

F16F 15/04 A ,  F16F 15/04 F ,  F16F 9/04 ,  F16F 9/46

Fターム (13件)：

3J048AA01 ,  3J048AB12 ,  3J048BA01 ,  3J048BE02 ,  3J048CB21 ,  3J048DA01 ,  3J048DA04 ,  3J048EA07 ,  3J048EA13 ,  3J069AA25 ,  3J069AA27 ,  3J069AA32 ,  3J069EE63

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 除振装置、露光装置およびデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-134240   出願人：キヤノン株式会社
• 特開平1-145441
  
• 吸振体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-021948   出願人：特許機器株式会社
• 除振装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-118915   出願人：藤倉ゴム工業株式会社
• 特開平1-145441