特許
J-GLOBAL ID：200903061022814545

除振装置、露光装置およびデバイス製造方法

発明者：
原 浩通

原 浩通 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-134240
公開番号（公開出願番号）：特開平11-315883
出願日： 1998年04月30日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：
【要約】【課題】 省スペースでエアダンパの固有振動数を高くする。また、エアダンパの固有振動数を可変にする。【解決手段】 駆動方向が鉛直方向で対向するように配置した一対のエアダンパと、該エアダンパの内圧を制御する手段とを設け、内圧の調整により固有振動数が可変となっている。
請求項（抜粋）：
駆動方向が鉛直方向で対向するように配置した一対のエアダンパと、該エアダンパの内圧を制御する手段とを有することを特徴とする除振装置。
IPC (3件)：
F16F 15/02 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
F16F 15/02 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 F ,  H01L 21/30 516 B
引用特許：
審査官引用 (13件)
  • 特開平3-219141
  • 防振装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-239013   出願人：株式会社ニコン
  • 特開平4-019438
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