感放射線性樹脂組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福沢俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-159141
公開番号（公開出願番号）：特開平9-325473
出願日： 1996年05月31日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】【課題】 KrFエキシマレーザー(波長248nm)に感応でき、定在波の影響が少なくてパターン形状が優れ、且つ感度、解像度、現像性、フォーカス許容性等も含めた特性バランスに優れた化学増幅型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、(A)ヒドロキシ-(α-メチル)スチレンからなる繰返し単位とヒドロキシ-(α-メチル)スチレンのアセタール誘導体あるいはケタール誘導体からなる繰返し単位とを含有する共重合体、(B)波長248nmにおける光の透過率が膜厚1μm当り50%以上であるアルカリ可溶性樹脂、並びに(C)感放射線性酸発生剤を含有する。

請求項（抜粋）：

(A)下記式(1)で表される繰返し単位と下記式(2)で表される繰返し単位とを含有する共重合体、【式1】〔式(1)において、R1は水素原子またはメチル基を示す。〕、【式2】〔式(2)において、R2は水素原子またはメチル基を示し、R3は水素原子、炭素数1〜10の鎖状アルキル基、炭素数3〜10の環状アルキル基、炭素数6〜10のアリール基もしくは炭素数7〜11のアラルキル基を示し、R4およびR5はそれぞれ独立に炭素数1〜10の鎖状アルキル基、炭素数1〜10のハロゲン化鎖状アルキル基、炭素数3〜10の環状アルキル基、炭素数6〜10のアリール基または炭素数7〜11のアラルキル基を示すか、あるいはR3、R4およびR5のいずれか2つが互いに結合して5〜7員環を形成している。〕、(B)波長248nmにおける光の透過率が膜厚1μm当り50%以上であるアルカリ可溶性樹脂、並びに(C)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/004 503 , G03F 7/033 , G03F 7/038 505 , G03F 7/039 501 , H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/004 503 , G03F 7/033 , G03F 7/038 505 , G03F 7/039 501 , H01L 21/30 502 R

引用特許：

出願人引用 (2件)

ポジ型感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-068630 出願人：富士写真フイルム株式会社
ポジ型感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-261635 出願人：富士写真フイルム株式会社

審査官引用 (2件)

ポジ型感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-068630 出願人：富士写真フイルム株式会社
ポジ型感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-261635 出願人：富士写真フイルム株式会社

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