特許
J-GLOBAL ID：200903046894277250
ポジ型感光性組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-068630
公開番号（公開出願番号）：特開平6-282073
出願日： 1993年03月26日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：
【要約】【目的】 露光後のベークによる膜収縮及び現像時の膜減りが少なく、定在波の無い良好なプロファイルと高解像力を有するポジ型感光性組成物を提供する。【構成】(a)酸で分解し得る基を有し、アルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する樹脂(以下、酸で分解し得る基を有する樹脂と略す)、(b)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(c)酸で分解し得る基を有し、アルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する、分子量3,000以下の低分子酸分解性溶解阻止化合物、を含有するポジ型感光性組成物において、該化合物(c)が、1つのベンゼン環上に酸で分解し得る基を1個有する構造単位を1分子中に少なくとも3個以上有し、且つ、該酸分解性基間の距離が最も離れた位置において、酸分解性基を除く結合原子を9個以上経由する化合物であることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
(a)酸で分解し得る基を有し、アルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する樹脂、(b)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(c)酸により分解し得る基を有し、アルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する、分子量3,000以下の低分子酸分解性溶解阻止化合物、を含有するポジ型感光性組成物において、該化合物(c)が、1つのベンゼン環上に酸で分解し得る基を1個有する構造単位を1分子中に少なくとも3個以上有し、且つ、該酸分解性基間の距離が最も離れた位置において、酸分解性基を除く結合原子を9個以上経由する化合物であることを特徴とするポジ型感光性組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/039 501
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503
, G03F 7/023 511
, G03F 7/029
, H01L 21/027
出願人引用 (13件)
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特開平4-088348
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ポジ型レジスト材料
公報種別：公開公報
出願番号：特願平3-321540
出願人：日本電信電話株式会社, 信越化学工業株式会社
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ポジ型レジスト材料
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-060986
出願人：日本電信電話株式会社
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審査官引用 (15件)
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特開平4-088348
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特開平4-088348
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特開平4-088348
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