特許

J-GLOBAL ID：200903049709853621

ポジ型感光性組成物

発明者： 青合 利明 ,  藤森 亨 ,  山中 司 ,  上西 一也
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-261635
公開番号（公開出願番号）：特開平9-106073
出願日： 1995年10月09日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：

【要約】【課題】 露光後から加熱処理までの経時による酸の拡散又は失活の防止が容易且つ適切にでき、且つ溶解阻止効果や現像性が改善され、良好なプロファイルと高解像力を有するポジ型感光性組成物を提供できる。【解決手段】 活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物及び酸の作用により分解しアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を有する構造単位及び塩基性窒素を有する構造単位から少なくともなる樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

請求項（抜粋）：

(1)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(2)酸の作用により分解しアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を有する構造単位及び塩基性窒素を有する構造単位から少なくともなる樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/023 511 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/023 511 ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-134431   出願人：日本合成ゴム株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-316683   出願人：日本合成ゴム株式会社
• レジスト塗布組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-059928   出願人：日本合成ゴム株式会社
• レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-298995   出願人：和光純薬工業株式会社