特許
J-GLOBAL ID：200903000459610532
金属試料の特性を光学的に測定する方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
平木 祐輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-005615
公開番号（公開出願番号）：特開2002-214137
出願日： 2001年01月12日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
要約：
【要約】【課題】 金属の特性の光学的測定方法を提供する。【解決手段】 金属試料Sに当該金属試料の格子振動周期より短い直線偏光した励起パルス光PUを照射し、励起パルス光の偏光方向と直交する方向に直線偏光した探査パルス光PR1を時間遅延させて金属試料の励起パルス光照射位置に照射し、光検出器Dで金属試料によって反射された探査パルス光PR2を検出する。これを遅延時間を変化させて反復することで、金属の格子振動を反映した振動プロフィールを検出する。
請求項（抜粋）：
金属試料に当該金属試料の格子振動周期より短い第1の方向に直線偏光した励起パルス光を照射する第1ステップと、前記第1の方向と直交する第2の方向に直線偏光した前記金属試料の格子振動周期より短い探査パルス光を前記励起パルス光より時間遅延させて金属試料の前記励起パルス光照射位置に照射する第2ステップと、金属試料によって反射された前記探査パルス光の前記第2の方向への偏光成分を検出する第3ステップとを含み、前記遅延時間を変化させて前記第1から第3のステップを反復し、金属試料の格子振動に関する情報を収集することを特徴とする金属試料の特性を光学的に測定する方法。
IPC (3件)：
G01N 21/55
, G01N 21/21
, G01N 33/20
G01N 21/55
, G01N 21/21 Z
, G01N 33/20 K
2G055AA01
, 2G055FA02
, 2G059AA03
, 2G059AA05
, 2G059BB08
, 2G059DD13
, 2G059EE02
, 2G059EE05
, 2G059EE07
, 2G059GG01
, 2G059GG04
, 2G059GG08
, 2G059JJ11
, 2G059JJ12
, 2G059JJ19
, 2G059JJ20
, 2G059JJ22
, 2G059KK01
, 2G059KK03
, 2G059MM10
