特許
J-GLOBAL ID：200903000508733181

欠陥検出装置及び方法

発明者：
田代 慎太郎

田代 慎太郎 について


出願人/特許権者：
三菱レイヨン株式会社

三菱レイヨン株式会社 について


代理人 (1件)： 中村 稔 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-305638
公開番号（公開出願番号）：特開2002-116015
出願日： 2000年10月05日
公開日（公表日）： 2002年04月19日
要約：
【要約】【課題】 精度良く被検査物体の表面凹凸を検出する。【解決手段】 周期的な明暗ストライプパターン(11)を被検査物体(2)に照射する照明手段(1)と、前記被検査物体を反射したパターンまたは透過したパターンを撮像する撮像手段(3)と、前記撮像手段におけるストライプパターンの明暗画像のコントラスト変化に基づいて前記被検査物体の欠陥を検出する検出手段(4)と、を備える欠陥検出装置において、前記撮像手段が有するレンズ(31)の焦点を、前記照明手段のストライプパターンの位置と比較して遠方又は手前の位置にずらす。
請求項（抜粋）：
周期的な明暗ストライプパターンを被検査物体に照射する照明手段と、前記被検査物体を反射したパターンまたは透過したパターンを撮像する撮像手段と、前記撮像手段におけるストライプパターンの明暗画像のコントラスト変化に基づいて前記被検査物体の欠陥を検出する検出手段と、を備える欠陥検出装置において、前記検出手段は、コンパレータ、及び画像膨張回路を備えることを特徴とする欠陥検出装置。
IPC (4件)：
G01B 11/30 ,  G01B 11/30 101 ,  G01N 21/896 ,  G01N 21/958
FI (4件)：
G01B 11/30 A ,  G01B 11/30 101 A ,  G01N 21/896 ,  G01N 21/958
Fターム (27件)：
2F065AA49 ,  2F065BB01 ,  2F065BB22 ,  2F065BB25 ,  2F065CC02 ,  2F065CC06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065GG03 ,  2F065HH06 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL04 ,  2F065QQ05 ,  2F065UU01 ,  2F065UU05 ,  2G051AA37 ,  2G051AA41 ,  2G051AA42 ,  2G051AB06 ,  2G051AB07 ,  2G051BB07 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA16
引用特許：
審査官引用 (5件)
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