多層セラミック基板の製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小柴雅昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-042202
公開番号（公開出願番号）：特開2001-230548
出願日： 2000年02月21日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
要約：

【要約】【課題】キャビティの底面部の平坦性が損なわれず、キャビティの周辺部の変形や割れが生じにくい、多層セラミック基板の製造方法を提供する。【解決手段】ガラスを含有するセラミック材料を用いてそれぞれ作製された第1および第2のガラスセラミックグリーンシート15,16を積層することによって、一方の端面18に開口20を位置させているキャビティ13を有するグリーンシート積層体17を得るとともに、セラミック材料よりも焼結温度の高い収縮抑制用無機材料を用いて、グリーンシート積層体17の各端面18,19に沿って収縮抑制層21,22をそれぞれ設けることによって、複合積層体12を得る。次に、キャビティ13の周辺部と貫通部23を介してキャビティ13の底面部とに互いに同じ圧力をかけて、複合積層体12を積層方向にプレスし、焼成した後、収縮抑制層21,22を除去する。

請求項（抜粋）：

ガラス成分を含有するセラミック材料を用意する工程と、前記セラミック材料よりも焼結温度の高い収縮抑制用無機材料を用意する工程と、前記セラミック材料を用いて、キャビティを形成するための貫通孔を有する第1のガラスセラミックグリーンシートと少なくとも前記貫通孔の位置には貫通孔を有しない第2のガラスセラミックグリーンシートとをそれぞれ作製する工程と、前記第1のガラスセラミックグリーンシートと前記第2のガラスセラミックグリーンシートとを積層することによって、積層方向での少なくとも一方の端面に開口を位置させるように前記貫通孔によって形成されたキャビティを有するグリーンシート積層体を得るとともに、前記収縮抑制用無機材料を用いて、前記グリーンシート積層体の積層方向での各端面に沿って収縮抑制層をそれぞれ設け、それによって、前記グリーンシート積層体の両端面が前記収縮抑制層によって覆われた複合積層体を得る工程と、前記複合積層体を積層方向にプレスする工程と、次いで、前記複合積層体を焼成する工程とを備え前記複合積層体を得る工程において、前記キャビティの開口が位置している前記端面に沿う前記収縮抑制層にあっては、前記キャビティの開口を露出させる貫通部を有する状態で設けられ、前記複合積層体をプレスする工程において、前記キャビティの周辺部がプレスされるともに、前記貫通部を介して前記キャビティの底面部がプレスされる、多層セラミック基板の製造方法。

IPC (4件)：

H05K 3/46 , B32B 18/00 , C04B 35/64 , H01L 23/12

FI (5件)：

H05K 3/46 H , H05K 3/46 Q , B32B 18/00 D , C04B 35/64 Z , H01L 23/12 N

Fターム (29件)：

4F100AA19H , 4F100AD00A , 4F100AD00B , 4F100AD00C , 4F100AG00A , 4F100AG00B , 4F100AG00C , 4F100BA02 , 4F100BA03 , 4F100BA06 , 4F100BA07 , 4F100BA10B , 4F100BA10C , 4F100DC12A , 4F100EJ17 , 4F100EJ172 , 4F100EJ48 , 4F100EJ482 , 4F100GB41 , 4F100JL04 , 5E346AA12 , 5E346AA38 , 5E346CC18 , 5E346EE24 , 5E346EE29 , 5E346GG09 , 5E346GG10 , 5E346GG40 , 5E346HH40

引用特許：

審査官引用 (2件)

複合積層体およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-097155 出願人：株式会社村田製作所
セラミック多層配線板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-189053 出願人：日本電気株式会社

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