特許
J-GLOBAL ID：200903000704292029
カラーフィルタの検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-050518
公開番号（公開出願番号）：特開平10-246705
出願日： 1997年03月05日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：
【要約】【課題】従来の検査装置が強固に付着した異物と簡単に除去できる異物とを識別することが出来ないために、簡単に除去できる異物までも不良品と判定している問題を解決するカラーフィルタの検査装置を提供するものである。【解決手段】カラーフィルタの検査装置に於いて、検査処理部で検出された欠陥に関する位置情報、種類情報を元に、該当する欠陥位置に撮像部、及びエアー吹き出し部を移動させ、撮像部から欠陥部を画像として画像処理装置に取り込んだ後、エアー吹き出し部よりエアーを欠陥部に吹き当て、エアー吹き当て後の画像を再度画像処理装置に取り込んで、先に取り込んだ画像と比較することで、検査処理部で検出した欠陥のうち、カラーフィルタの上に載っただけで溶着していないダストなどの異物を識別することを特長とするカラーフィルタの検査装置。
請求項（抜粋）：
カラーフィルタの検査装置に於いて、検査処理部で検出された欠陥に関する位置情報、種類情報を元に、該当する欠陥位置に撮像部、及びエアー吹き出し部を移動させ、撮像部から欠陥部を画像として画像処理装置に取り込んだ後、エアー吹き出し部よりエアーを欠陥部に吹き当て、エアー吹き当て後の画像を再度画像処理装置に取り込んで、先に取り込んだ画像と比較することで、検査処理部で検出した欠陥のうち、カラーフィルタの上に載っただけで溶着していないダストなどの異物を識別することを特長とするカラーフィルタの検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/88 Z
, G01M 11/00 T
