容量式力学量センサの容量値計測方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤洋二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-133162
公開番号（公開出願番号）：特開2000-321300
出願日： 1999年05月13日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】固定部に支持されるとともに離間して対向配置された一対の電極部間の容量変化を用いて力学量を測定する容量式力学量センサにおいて、一対の電極部の固定部の寄生容量を除去し、一対の電極部間のみの容量値を精度良く計測する容量値計測方法を提供する。【解決手段】容量式力学量センサとして、一対の容量電極1、2間の距離のみが異なるものを3個以上用意し、個々の容量式力学量センサについて、それぞれ固定部3、4を含む配線部3〜12を介して一対の容量電極1、2間の容量測定を行い、測定された値を測定容量値CA、CB、CCとし、これら測定容量値と一対の容量電極1、2間の距離dA、dB、dCとの対応関係を示す漸近線L1を求め、この漸近線L1から一対の容量電極1、2間の距離が零の場合の容量値C0を求め、個々の測定容量値から該容量値C0を差し引くことにより、目的とする容量値を求める。

請求項（抜粋）：

それぞれ固定部(3、4)に支持されるとともに離間して対向配置された一対の電極部(1、2)を備え、力学量が印加されたときの前記一対の電極部間の距離変化を、前記固定部を含む配線部(3〜12)を介し容量変化として検出するようにした容量式力学量センサにおいて、前記一対の電極部間の容量値を計測する方法であって、前記容量式力学量センサとして、前記一対の電極部間の距離のみが異なるものを複数個用意し、前記複数個の容量式力学量センサについて、それぞれ前記配線部を介して前記一対の電極部間の容量測定を行い、測定された値を測定容量値(CA、CB、CC)とする工程と、個々の前記測定容量値と個々の前記一対の電極部間の距離(dA、dB、dC)との対応関係を求め、この対応関係に基づいて、前記一対の電極部間の距離が零の場合の前記測定容量値に相当する零距離容量値(C0)を求める工程と、個々の前記測定容量値から前記零距離容量値を差し引くことにより、目的とする前記一対の電極部間の容量値を求める工程と、を備えることを特徴とする容量式力学量センサの容量値計測方法。

IPC (4件)：

G01P 15/125 , G01L 1/14 , G01R 27/26 , G01C 19/56

FI (4件)：

G01P 15/125 , G01L 1/14 A , G01R 27/26 C , G01C 19/56

Fターム (8件)：

2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD11 , 2G028AA01 , 2G028CG07 , 2G028FK07 , 2G028HN11

引用特許：

審査官引用 (4件)

振動式角速度センサのオフセット測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-237354 出願人：日産自動車株式会社
インピーダンス測定装置の接触判定回路及び接触判定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-308485 出願人：横河・ヒユーレツト・パツカード株式会社
静電容量センサ及び静電容量センサ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-196863 出願人：株式会社神戸製鋼所

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