特許
J-GLOBAL ID：200903086685230353
容量係数算出方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-112352
公開番号（公開出願番号）：特開平7-318601
出願日： 1994年05月26日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：
【要約】【目的】容量係数を計算で求めるようにし、検索や取り出しのためのオーバヘッドをゼロにして見積作業の一層の迅速化、効率化を図ること。【構成】レイアウトパターンの大きさ又はレイアウトパターンの間隔を、任意の少なくとも2つの異なる倍率で変え、それぞれの大きさ又は間隔における寄生容量値を暫定的に求め、各暫定的な寄生容量値を通る一次関数直線のy切片と傾きの値を容量係数として採用する。
請求項（抜粋）：
レイアウトパターンの大きさ又はレイアウトパターンの間隔を、任意の少なくとも2つの異なる倍率で変え、それぞれの大きさ又は間隔における寄生容量値を暫定的に求め、各暫定的な寄生容量値を通る一次関数直線のy切片と傾きの値を容量係数として採用することを特徴とする容量係数算出方法。
IPC (3件)：
G01R 27/26
, G06F 17/50
, H01L 21/82
G06F 15/60 370 A
, H01L 21/82 C
