特許
J-GLOBAL ID：200903000786417215

感放射線性樹脂組成物及びそれに用いる感放射性の酸発生剤

発明者：
清水 大輔

清水 大輔 について

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水野 裕臣

水野 裕臣 について

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吉田 光一郎

吉田 光一郎 について

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永井 智樹

永井 智樹 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (3件)： 小島 清路 ,  早川 大刀夫 ,  萩野 義昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-259839
公開番号（公開出願番号）：特開2007-072214
出願日： 2005年09月07日
公開日（公表日）： 2007年03月22日
要約：
【課題】 解像度が高く且つ最適露光量の範囲が広い感放射線性樹脂組成物を提供する。また、解像度が高く且つ最適露光量の範囲が広い感放射線性樹脂組成物とするために用いられる感放射性の酸発生剤を提供する。【解決手段】 本発明の感放射線性樹脂組成物は、(A)酸解離性基を有するアルカリ不溶性又はアルカリ難溶性の樹脂で、該酸解離性基が解離することによりアルカリ可溶性となる樹脂と、(B)感放射線性の酸発生剤と、を含有する感放射線性樹脂組成物である。そして、(B)酸発生剤は、(B-1)スルホンイミド化合物、(B-2)ヨードニウム塩及び(B-3)スルホニウム塩を含むことを特徴とする。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(A)酸解離性基を有するアルカリ不溶性又はアルカリ難溶性の樹脂で、該酸解離性基が解離することによりアルカリ可溶性となる樹脂と、(B)感放射線性の酸発生剤と、を含有する感放射線性樹脂組成物であって、 前記(B)酸発生剤は、(B-1)スルホンイミド化合物、(B-2)ヨードニウム塩及び(B-3)スルホニウム塩を含むことを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/039 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G03F7/039 601 ,  G03F7/004 503A ,  H01L21/30 502R
Fターム (13件)：
2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB17 ,  2H025CB41
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特開昭59-45439号公報
審査官引用 (3件)

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