特許

J-GLOBAL ID：200903000831829708

フォーク型電極を有するプラズマ化学蒸着装置

発明者： 村田 正義 ,  真島 浩 ,  山越 英男
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-087256
公開番号（公開出願番号）：特開2001-271169
出願日： 2000年03月27日
公開日（公表日）： 2001年10月02日
要約：

【要約】【課題】 大面積基板に対して周波数の大きい超高周波を用いて高速かつ膜厚均一性に優れた製膜を行なうことができるフォーク型電極を有するプラズマ化学蒸着装置を提供する。【解決手段】 電極と被処理基板との間に製膜用ガスの放電プラズマを生成させて被処理基板上に製膜するプラズマ化学蒸着装置であって、電極32a,32b,32cは、電源回路に接続された複数の電力供給端44〜51と、複数の電力供給端が実質的に等ピッチ間隔に取り付けられた直線状のベース33Bと、ベースから分岐して実質的に等ピッチ間隔かつ平行に延び出す複数のリブ33Rとを有する。

請求項（抜粋）：

高周波電源より電極に電力を供給し、該電極と被処理基板との間に製膜用ガスの放電プラズマを生成させて被処理基板上に製膜するプラズマ化学蒸着装置であって、前記電極は、該電源の出力回路に接続された複数の電力供給端と、該複数の電力供給端が実質的に等ピッチ間隔に取り付けられた直線状のベースと、該ベースから分岐して実質的に等ピッチ間隔かつ平行に延び出す複数のリブと、を具備することを特徴とするフォーク型電極を有するプラズマ化学蒸着装置。

IPC (4件)：

C23C 16/509 ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/46 ,  B01J 19/08

FI (4件)：

C23C 16/509 ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/46 M ,  B01J 19/08 H

Fターム (30件)：

4G075AA24 ,  4G075BB02 ,  4G075BC01 ,  4G075BC04 ,  4G075BD14 ,  4G075CA47 ,  4G075FC13 ,  4K030AA06 ,  4K030BA29 ,  4K030BA30 ,  4K030BB04 ,  4K030BB05 ,  4K030CA06 ,  4K030FA03 ,  4K030JA18 ,  4K030KA15 ,  4K030LA15 ,  4K030LA16 ,  4K030LA17 ,  5F045AA08 ,  5F045AB03 ,  5F045AB04 ,  5F045AC01 ,  5F045AE15 ,  5F045AE17 ,  5F045EH04 ,  5F045EH06 ,  5F045EH09 ,  5F045EH20 ,  5F045EK21

引用特許：

審査官引用 (4件)

• プラズマ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-363082   出願人：田中栄
• プラズマCVD装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-094598   出願人：三菱重工業株式会社
• プラズマ処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-045836   出願人：株式会社フロンテック
• プラズマ化学蒸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-149233   出願人：三菱重工業株式会社