特許
J-GLOBAL ID:200903000832997124
炭素微粒子構造体とその製造方法、およびこれを製造するための炭素微粒子転写体と炭素微粒子構造体製造用溶液、並びに炭素微粒子構造体を用いた炭素微粒子構造体電子素子とその製造方法、そして集積回路
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (5件):
中村 智廣
, 成瀬 勝夫
, 小泉 雅裕
, 青谷 一雄
, 鳥野 正司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-188823
公開番号(公開出願番号):特開2006-008454
出願日: 2004年06月25日
公開日(公表日): 2006年01月12日
要約:
【課題】 製造プロセスの簡便性を維持しつつ、半導体材料としての高性能を実現し得る新規な炭素微粒子構造体とその製造方法を提供すること。また、かかる炭素微粒子構造体の製造に適した物を提供すること。さらに、前記炭素微粒子構造体を用いた炭素微粒子構造体電子素子および集積回路を提供すること【解決手段】 グラファイト構造を有する複数の炭素微粒子と、少なくともその一端がそれぞれ異なる前記炭素微粒子に結合された複数の官能基同士の化学結合により形成された架橋部位とを備え、前記複数の炭素微粒子が前記架橋部位と共に網目構造を構成してなることを特徴とする炭素微粒子構造体、とその製造方法、およびこれを製造するための炭素微粒子転写体と炭素微粒子構造体製造用溶液、並びに炭素微粒子構造体を用いた炭素微粒子構造体電子素子とその製造方法、そして集積回路である。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
グラファイト構造を有する複数の炭素微粒子と、少なくともその一端がそれぞれ異なる前記炭素微粒子に結合された複数の官能基同士の化学結合により形成された架橋部位とを備え、前記複数の炭素微粒子が前記架橋部位と共に網目構造を構成してなることを特徴とする炭素微粒子構造体。
IPC (6件):
C01B 31/04
, C01B 31/02
, H01L 29/06
, H01L 29/786
, H01L 21/336
, H01L 51/05
FI (7件):
C01B31/04 101B
, C01B31/02 101Z
, H01L29/06 601N
, H01L29/78 618B
, H01L29/78 618A
, H01L29/78 626C
, H01L29/28
Fターム (40件):
4G146AA02
, 4G146AD30
, 4G146BA02
, 4G146BA11
, 5F110AA01
, 5F110AA16
, 5F110AA26
, 5F110BB01
, 5F110CC01
, 5F110CC03
, 5F110DD01
, 5F110DD02
, 5F110DD03
, 5F110DD05
, 5F110DD13
, 5F110DD21
, 5F110EE01
, 5F110EE02
, 5F110EE03
, 5F110EE04
, 5F110EE43
, 5F110FF01
, 5F110FF02
, 5F110FF03
, 5F110FF27
, 5F110GG01
, 5F110GG16
, 5F110GG25
, 5F110GG28
, 5F110GG42
, 5F110HK01
, 5F110HK02
, 5F110HK03
, 5F110HK32
, 5F110NN02
, 5F110NN22
, 5F110NN23
, 5F110NN24
, 5F110NN27
, 5F110QQ04
引用特許: