特許
J-GLOBAL ID:200903000886941426
異方導電性フィルムおよびそれを用いた半導体素子または電子部品の検査方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高島 一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-318423
公開番号(公開出願番号):特開2002-124319
出願日: 2000年10月18日
公開日(公表日): 2002年04月26日
要約:
【要約】【課題】 低い荷重で連続して測定でき、接続信頼性の高い機能検査を可能とする異方導電性フィルム、およびそれを用いた半導体素子または電子部品の検査方法を提供する。【解決手段】 絶縁性樹脂からなるフィルム基材中に、導電性材料からなる導通路が、互いに絶縁された状態で該フィルム基材を厚み方向に貫通し、該フィルム基材の両面から突出する各突出部を有するように複数設けられた構造を有し、各導通路は、その一方側の各突出部同士ならびに他方側の各突出部同士が略同一の突出高さを有し、かつ導通路の一方側の突出部の平均突出高さが残る他方側の突出部の平均突出高さよりも高く形成され、上記構造全体の弾性率が、25°C〜40°Cにおいて1MPa〜20MPaであることを特徴とする異方導電性フィルム。
請求項(抜粋):
絶縁性樹脂からなるフィルム基材中に、導電性材料からなる導通路が、互いに絶縁された状態で該フィルム基材を厚み方向に貫通し、該フィルム基材の両面から突出する各突出部を有するように複数設けられた構造を有し、各導通路は、その一方側の各突出部同士ならびに他方側の各突出部同士が略同一の突出高さを有し、かつ導通路の一方側の突出部の平均突出高さが他方側の突出部の平均突出高さよりも高く形成され、上記構造全体の弾性率が、25°C〜40°Cにおいて1MPa〜20MPaであることを特徴とする異方導電性フィルム。
IPC (5件):
H01R 11/01 501
, G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01B 5/16
, H05K 3/32
FI (5件):
H01R 11/01 501 G
, G01R 1/073 F
, G01R 31/26 J
, H01B 5/16
, H05K 3/32 B
Fターム (14件):
2G003AA07
, 2G003AG07
, 2G003AG12
, 2G003AH05
, 2G011AA00
, 2G011AB08
, 2G011AD01
, 2G011AE03
, 2G011AF07
, 5E319BB16
, 5E319CD51
, 5G307HA02
, 5G307HB03
, 5G307HC01
引用特許: