二種ガスによる目的濃度混合ガスの流通式供給方法とその装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：齋藤義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-148796
公開番号（公開出願番号）：特開平11-333280
出願日： 1998年05月29日
公開日（公表日）： 1999年12月07日
要約：

【要約】【課題】人工空気等の二種ガスによる混合ガスを連続的に負荷側へ供給することができ、簡易なON-OFF制御手段で、負荷側の消費量が変動したり、混合ガスが目的濃度から外れても、迅速、高精度の濃度補正を安価に実現可能とする。【解決手段】第1、第2ガスG1、G2は均圧制御後、第1、第2電磁弁1C、2Cからレシーバータンク3に注入して混合ガスMGを得、これを所定供給圧で負荷側Lに連続供給する。負荷側Lの混合ガスMG消費量でレシーバータンク3のガス内圧が変化しても、これを検知の圧力スイッチ4がシーケンサ5を介して第1、第2電磁弁1C、2Cを開閉してガス内圧を安定化する。混合ガスMGが目的濃度から外れると、これを検知のガス分析計8がシーケンサ5を介して第1、第2電磁弁1C、2CのON-OFF制御における開閉動作時間を変更することで目的濃度への補正を行う。

請求項（抜粋）：

第1ガスと第2ガスとを均圧制御した後、当該第1、第2ガスを夫々第1、第2電磁弁を介してレシーバタンクに注入し、当該レシーバタンク内の第1、第2ガスによる混合ガスを、所定の供給圧に調整して負荷側へ連続的に供給すると共に、上記レシーバタンクのガス内圧が、負荷側の混合ガス消費により下限値に達すると、これを検知の圧力スイッチが、シーケンサを介して前記の第1、第2電磁弁を開動することにより、第1、第2ガスのレシーバタンクへの注入を開始し、当該レシーバタンクのガス内圧が上昇して上限値に達すると、これを検知の圧力スイッチが、シーケンサを介して上記の第1、第2電磁弁を閉動することで、第1、第2ガスのレシーバタンクへの注入を停止するよう制御し、かつレシーバタンクから流出する前記混合ガス中における一方のガスにつき、ガス分析計によりその濃度を測知し、測知結果が所定濃度範囲以上に達すると、これにより当該ガス分析計がシーケンサを介して前同第1、第2電磁弁の一方または双方につき、ON-OFF制御による当該電磁弁の開成動作時間を変更するようにし、同上測知結果が所定濃度範囲以下に達すると、これにより前同ガス分析計が、シーケンサを介して同上第1、第2電磁弁の一方または双方につき、ON-OFF制御における当該電磁弁の開成動作時間を変更することにより、混合ガスの目的濃度に対する濃度補正がなされるようにしたことを特徴とする二種ガスによる目的濃度混合ガスの流通式供給方法。

IPC (3件)：

B01J 4/00 102 , B01F 3/02 , B01F 15/04

FI (3件)：

B01J 4/00 102 , B01F 3/02 , B01F 15/04 D

引用特許：

出願人引用 (2件)

混合ガス供給システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-294078 出願人：大陽東洋酸素株式会社, ガスミックス工業株式会社
混合ガス供給装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-246555 出願人：日本酸素株式会社

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