特許
J-GLOBAL ID:200903025754916760

混合ガス供給装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 木戸 一彦 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-246555
公開番号(公開出願番号):特開平11-076779
出願日: 1997年09月11日
公開日(公表日): 1999年03月23日
要約:
【要約】【課題】 停電時においても混合ガスの製造を自動的に継続することができ、安定した状態で所定の組成の混合ガスを供給する。【解決手段】 停電時に、原料ガス供給経路1,2の遮断弁4a,4bを開いて混合ガスの製造を継続するとともに、過剰に製造された混合ガスを混合ガス放出経路23から放出することにより、流量調整弁5a,5bの二次側圧力を所定圧力に保持する。
請求項(抜粋):
圧力調整弁,遮断弁及び流量調整弁をそれぞれ有する複数の原料ガス供給経路と、各原料ガス供給経路から供給される複数の原料ガスを合流させて混合ガスとするガス合流部と、得られた混合ガスを蓄圧するバッファータンクと、バッファータンクに蓄圧した混合ガスを使用先に供給する混合ガス供給経路と、前記バッファータンク内の圧力を検出する圧力計と、該圧力計で検出した圧力に応じて前記遮断弁の開閉制御を行う制御器とを備えた混合ガス供給装置において、前記原料ガス供給経路の遮断弁を停電時に開弁させる開弁手段を設けるとともに、前記ガス合流部より下流側に、停電時に開弁する遮断弁と、一次側圧力を所定圧力に保つ圧力調整弁とを備えた混合ガス放出経路を設け、停電時には、原料ガス供給経路及び混合ガス放出経路の両遮断弁が開き、前記各原料ガス供給経路から原料ガスを供給して混合ガスの製造を行い、製造された混合ガスの過剰分を前記混合ガス放出経路から放出することにより前記流量調整弁の二次側圧力を所定圧力に保持するように形成したことを特徴とする混合ガス供給装置。
IPC (5件):
B01F 3/02 ,  A61M 16/12 ,  B01F 13/04 ,  B01F 15/04 ,  B01J 4/00 102
FI (5件):
B01F 3/02 ,  A61M 16/12 ,  B01F 13/04 ,  B01F 15/04 B ,  B01J 4/00 102
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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