特許

J-GLOBAL ID：200903000910334382

静電チャック及びその製造方法

発明者： 亀山 亮介
出願人/特許権者： 日本特殊陶業株式会社
代理人 (1件)： 加藤 和久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-394508
公開番号（公開出願番号）：特開2005-158962
出願日： 2003年11月25日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：

【目的】 接着力や熱伝導性を損なわないように、接着剤層として所定の厚みを確保しつつ、静電チャック板と、ベース部材の間の接着剤層の厚みに不均一性を発生させず、静電チャック板の表面である吸着面に傾斜のない静電チャックを提供する。【構成】 静電チャック板2の裏側平面4を、ベース部材21の表側平面23に接着剤層30を介して接着してなる静電チャック1で、両平面4,23間で接着剤層30を圧縮した際に、両平面4,23間が、所定厚さの接着剤層30を介して平行となるように、接着前の両平面間に、接着剤層30の厚さ分の寸法を有する接着剤層厚さ保持部材である線材41を複数配置し、両平面間で接着剤層30を圧縮して両部材を接着した。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

絶縁材製の静電チャック板の裏側平面と、ベース部材の表側平面との間に接着剤層を介在し、前記静電チャック板と前記ベース部材とを接着してなり、前記両平面の間に、所定の寸法を有する接着剤層厚さ保持部材が配置され、前記接着剤層厚さ保持部材を前記両平面によって挟みつけて、前記静電チャック板と前記ベース部材とが接着されていることを特徴とする静電チャック。

IPC (2件)：

H01L21/68 ,  H02N13/00

FI (2件)：

H01L21/68 R ,  H02N13/00 D

Fターム (6件)：

5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031GA09 ,  5F031HA03 ,  5F031HA16

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開平4-287344号公報
  

審査官引用 (2件)

• ウエハ支持部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-197512   出願人：京セラ株式会社
• セラミックス-金属接合体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-062229   出願人：日本碍子株式会社