特許

J-GLOBAL ID：200903002147120743

ウエハ支持部材

発明者： 井之上 博範
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-197512
公開番号（公開出願番号）：特開2003-017551
出願日： 2001年06月28日
公開日（公表日）： 2003年01月17日
要約：

【要約】【課題】静電チャックと金属台座を接合したウエハ支持部材に作用する熱応力による静電チャックの破損や接合層の剥離を防止する。【解決手段】静電チャック10と金属台座13とをインジウム又はインジウム合金からなる接合層14を介して接合したウエハ支持部材1において、接合層14の層厚みTを50μm以上とするとともに、接合層14中に、金、銀、銅、アルミニウム、ニッケル、錫等の金属またはこれらを主成分とする合金からなるスペーサ2を配置し、静電チャック10と金属台座13との間隔を等間隔に保持するようにする。

請求項（抜粋）：

板状セラミック体の一方の主面を、ウエハを載せる設置面とするとともに、上記板状セラミック体中に静電吸着用電極を内蔵した静電チャックと、該静電チャックを形成する板状セラミック体の他方の主面にインジウム又はインジウム合金からなる接合層を介して接合した金属台座とからなるウエハ支持部材において、上記接合層の層厚みを50μm以上とするとともに、上記接合層中に、金、銀、銅、アルミニウム、ニッケル、錫等の金属またはこれらを主成分とする合金からなるスペーサを配置し、上記静電チャックと上記金属台座との間隔を等間隔に保持するようにしたことを特徴とするウエハ支持部材。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/205

FI (2件)：

H01L 21/68 R ,  H01L 21/205

Fターム (12件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031GA09 ,  5F031HA16 ,  5F031HA38 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031PA11 ,  5F045BB08 ,  5F045EM05 ,  5F045EM09

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 静電吸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-047546   出願人：富士通株式会社, 株式会社富士通東北エレクトロニクス
• ウエハ支持部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-358309   出願人：京セラ株式会社
• 静電チヤツク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-294696   出願人：富士電機株式会社

審査官引用 (3件)

• 静電吸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-047546   出願人：富士通株式会社, 株式会社富士通東北エレクトロニクス
• ウエハ支持部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-358309   出願人：京セラ株式会社
• 静電チヤツク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-294696   出願人：富士電機株式会社