特許
J-GLOBAL ID：200903000915906856

めっき装置及びめっき方法

発明者：
山本 暁

山本 暁 について

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倉科 敬一

倉科 敬一 について

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長井 瑞樹

長井 瑞樹 について

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神田 裕之

神田 裕之 について

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三島 浩二

三島 浩二 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (4件)： 渡邉 勇 ,  堀田 信太郎 ,  小杉 良二 ,  森 友宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-402006
公開番号（公開出願番号）：特開2005-163085
出願日： 2003年12月01日
公開日（公表日）： 2005年06月23日
要約：
【課題】 基板上の部位毎に異なった条件で詳細なめっきを行うことができ、しかも、基板表面のシート抵抗の影響を最小限に抑えて面内均一性の良好なめっき膜を得ることができるようにする。【解決手段】 基板を保持する基板ステージ504と、基板ステージ504で保持した基板Wの被めっき面の周縁部に当接して該周縁部を水密的にシールするシール材514と該基板Wと接触して通電させるカソード電極512を備えたカソード部506と、基板Wの被めっき面に対向するように配置されたアノード526と、アノード526と基板Wの被めっき面との間に配置され、基板Wの被めっき面より小形な平面形状を有する保水性材料からなる多孔質体528と、アノード526と多孔質体528を上下に備えた電極ヘッド502と、電極ヘッドと基板を相対運動させる駆動機構を有する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
基板を保持する基板ステージと、 前記基板ステージで保持した基板の被めっき面の周縁部に当接して該周縁部を水密的にシールするシール材と前記基板と接触して通電させるカソード電極を備えたカソード部と、 前記基板の被めっき面に対向するように配置されたアノードと、 前記アノードと前記基板の被めっき面との間に配置され、基板の被めっき面より小形な平面形状を有する保水性材料からなる多孔質体と、 前記アノードと前記多孔質体を上下に備えた電極ヘッドと、 前記電極ヘッドと前記基板を相対運動させる駆動機構を有することを特徴とするめっき装置。
IPC (7件)：
C25D17/00 ,  C25D5/04 ,  C25D7/12 ,  C25D17/12 ,  C25D21/00 ,  H01L21/288 ,  H01L21/3205
FI (8件)：
C25D17/00 K ,  C25D5/04 ,  C25D7/12 ,  C25D17/12 Z ,  C25D21/00 J ,  H01L21/288 E ,  H01L21/88 K ,  H01L21/88 R
Fターム (53件)：
4K024AA09 ,  4K024AB08 ,  4K024BA11 ,  4K024BB12 ,  4K024BC01 ,  4K024CA12 ,  4K024CB02 ,  4K024CB06 ,  4K024CB08 ,  4K024CB09 ,  4K024CB17 ,  4K024DB07 ,  4K024DB10 ,  4K024EA02 ,  4K024EA06 ,  4M104BB04 ,  4M104BB32 ,  4M104DD16 ,  4M104DD37 ,  4M104DD52 ,  4M104DD53 ,  4M104DD75 ,  4M104FF13 ,  4M104FF18 ,  4M104FF22 ,  4M104HH20 ,  5E343AA02 ,  5E343AA22 ,  5E343BB03 ,  5E343BB24 ,  5E343DD25 ,  5E343DD43 ,  5E343EE01 ,  5E343EE36 ,  5E343ER26 ,  5E343ER33 ,  5E343FF16 ,  5E343FF23 ,  5E343GG06 ,  5F033HH07 ,  5F033HH11 ,  5F033HH32 ,  5F033MM02 ,  5F033MM12 ,  5F033MM13 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033PP15 ,  5F033PP27 ,  5F033PP28 ,  5F033QQ37 ,  5F033RR04 ,  5F033XX00
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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