特許
J-GLOBAL ID:200903000954984260
圧電素子及びその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
石田 敬 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-334054
公開番号(公開出願番号):特開平11-168248
出願日: 1997年12月04日
公開日(公表日): 1999年06月22日
要約:
【要約】【課題】 白金より低コストのAg-Pd合金等の電極を使用できる低温での焼結が可能であるとともに、高い圧電特性を示す圧電素子と、その製造方法を提供する。【解決手段】 圧電素子における圧電体を、aPbNi<SB>1/3 </SB>Nb<SB>2/3 </SB>O<SB>3 </SB>-bPbTiO<SB>3 </SB>-cPbZrO<SB>3 </SB>(この式において、0.4<a<0.6、0.25<b<0.45、0.05<c<0.25、且つa+b+c=1)の組成範囲の原料粉末に、この原料粉末を基準にして最高5モル%の酸化鉛、酸化銀、酸化ビスマス又はそれらの混合物を添加成分として加えた圧電粉末を焼結し、添加成分を除去して得られた圧電体とする。
請求項(抜粋):
圧電体と電極とを含み、当該圧電体が、aPbNi<SB>1/3 </SB>Nb<SB></SB><SB>2/3 </SB>O<SB>3 </SB>-bPbTiO<SB>3 </SB>-cPbZrO<SB>3 </SB>(この式において、0.4<a<0.6、0.25<b<0.45、0.05<c<0.25、且つa+b+c=1)の組成範囲の原料粉末に、この原料粉末を基準にして最高5モル%の酸化鉛、酸化銀、酸化ビスマス又はそれらの混合物を添加成分として加えた圧電粉末から作製した焼結体表面から当該添加成分を除去して得られた圧電体であることを特徴とする圧電素子。
IPC (4件):
H01L 41/187
, C04B 35/49
, H01L 41/09
, H01L 41/24
FI (4件):
H01L 41/18 101 D
, C04B 35/49 T
, H01L 41/08 C
, H01L 41/22 A
引用特許:
審査官引用 (5件)
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圧電磁器組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-285979
出願人:日立金属株式会社
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圧電磁器材料
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-155427
出願人:株式会社トーキン
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特開平2-149427
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特開昭61-142781
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積層体素子および振動駆動装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-068354
出願人:日本セメント株式会社, キヤノン株式会社
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