特許
J-GLOBAL ID:200903000981644722
X線異物検出装置及びX線異物検出方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
西村 教光
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-188073
公開番号(公開出願番号):特開2004-028890
出願日: 2002年06月27日
公開日(公表日): 2004年01月29日
要約:
【課題】異物検出における精度及び信頼性の向上を図る。【解決手段】X線異物検出装置1は、被検査物WにX線を曝射し、このX線の曝射に伴って被検査物Wを透過してくるX線の透過量から被検査物W中の異物Fの有無を検出する。X線異物検出装置1は、被検査物Wに対してX線を曝射するX線発生器6と、被検査物Wに対して曝射されたX線を検出するX線検出器7と、X線検出器7から得られるX線検出データS,Iに基づいて被検査物W内に異物Fが混入されているか否かを判定する異物判定手段11と、X線検出器7によるX線検出範囲の端縁Se,Ieに被検査物Wを透過したX線によるX線検出データSw,Iwが有るか否かにより被検査物W全体がX線に曝射されたか否かを判定する透過判定手段12と、を具備する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
被検査物(W)にX線を曝射し、このX線の曝射に伴って前記被検査物を透過してくるX線の透過量から前記被検査物中の異物(F)の有無を検出するX線異物検出装置であって、
前記被検査物に対してX線を曝射するX線発生器(6)と、
前記被検査物に対して曝射されたX線を検出するX線検出器(7)と、
該X線検出器から得られるX線検出データ(S,I)に基づいて、前記被検査物内に異物が混入されているか否かを判定する異物判定手段(11)と、
前記X線検出器によるX線検出範囲の端縁(Se,Ie)に、前記被検査物を透過したX線によるX線検出データ(Sw,Iw)が有るか否かにより、前記被検査物全体がX線に曝射されたか否かを判定する透過判定手段(12)と、
を具備することを特徴とするX線異物検出装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (15件):
2G001AA01
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001DA01
, 2G001DA02
, 2G001DA08
, 2G001FA01
, 2G001FA06
, 2G001JA09
, 2G001JA16
, 2G001KA05
, 2G001LA01
, 2G001LA02
, 2G001LA06
, 2G001PA11
引用特許: