荷電粒子線装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-201443
公開番号（公開出願番号）：特開2001-084944
出願日： 2000年06月29日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、試料像の全体に亘って焦点が合った像を得ることにあり、全体に亘ってぼけのない2次元像を獲得できる走査電子顕微鏡の提供にある。【解決手段】上記課題を解決するために、本発明は荷電粒子源より放出された荷電粒子線の焦点を変更する手段と、前記試料の荷電粒子線の照射個所で得られる荷電粒子を検出する荷電粒子検出器と、当該荷電粒子検出器から出力される信号の内、前記荷電粒子線が合焦した部分の信号に基づいて前記荷電粒子線源方向から見た試料の2次元像を合成する手段を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置を提供する。

請求項（抜粋）：

荷電粒子源と、当該荷電粒子源より放出された荷電粒子線を試料上で走査する走査偏向器と、前記荷電粒子源より放出された荷電粒子線の焦点を変更する手段と、前記試料の荷電粒子線の照射個所で得られる荷電粒子を検出する荷電粒子検出器と、当該荷電粒子検出器から出力される信号の内、前記荷電粒子線が合焦した部分の信号に基づいて前記荷電粒子線源方向から見た試料の2次元像を合成する手段を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (8件)：

H01J 37/22 502 , G06T 1/00 300 , G06T 1/00 400 , G06T 3/00 300 , H01J 37/21 , H01J 37/28 , H01L 21/66 , H04N 1/387

FI (8件)：

H01J 37/22 502 H , G06T 1/00 300 , G06T 1/00 400 D , G06T 3/00 300 , H01J 37/21 B , H01J 37/28 B , H01L 21/66 J , H04N 1/387

引用特許：

審査官引用 (8件)

画像処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-081291 出願人：ソニー株式会社
映像形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-065937 出願人：大河内禎一
電子線装置および走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-106405 出願人：株式会社日立製作所

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