表面検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-341505
公開番号（公開出願番号）：特開2000-162134
出願日： 1998年12月01日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】コントラストの高い画像で効率的に検査が行える表面検査装置を提供する。【解決手段】検査試料表面に明視野照明光を投光する明視野照明投光光学系と、検査試料表面に暗視野照明光を投光する暗視野照明投光光学系と、検査試料表面に対して両照明光を異なるタイミングで個別に投光するように切換える照明光切換手段と、該切換手段により照明される前記検査試料の明視野照明像及び暗視野照明像を撮像する撮像手段と、該撮像手段により得られた暗視野画像と明視野画像とを相対的に減算処理した減算処理画像を生成する画像生成手段と、該生成された画像を表示する表示手段とを備える。

請求項（抜粋）：

検査試料表面に明視野照明光を投光する明視野照明投光光学系と、検査試料表面に暗視野照明光を投光する暗視野照明投光光学系と、検査試料表面に対して両照明光を異なるタイミングで個別に投光するように切換える照明光切換手段と、該切換手段により照明される前記検査試料の明視野照明像及び暗視野照明像を撮像する撮像手段と、該撮像手段により得られた暗視野画像と明視野画像とを相対的に減算処理した減算処理画像を生成する画像生成手段と、該生成された画像を表示する表示手段と、を備えることを特徴とする表面検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/84 , G01N 21/88

FI (2件)：

G01N 21/84 E , G01N 21/88 645 A

Fターム (16件)：

2G051AA51 , 2G051AB02 , 2G051BA01 , 2G051BB05 , 2G051BB07 , 2G051BB20 , 2G051BC04 , 2G051BC10 , 2G051CA03 , 2G051CC11 , 2G051DA06 , 2G051EA08 , 2G051EA14 , 2G051EA25 , 2G051FA01 , 2G051FA10

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開昭56-030724
外観検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-094625 出願人：日本電気株式会社
外観検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-057408 出願人：株式会社サキコーポレーション

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