特許
J-GLOBAL ID：200903001035873408

検査装置及び検査方法

発明者：
尾内 敏彦

尾内 敏彦 について

, 
笠井 信太郎

笠井 信太郎 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 加藤 一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-125670
公開番号（公開出願番号）：特開2007-298358
出願日： 2006年04月28日
公開日（公表日）： 2007年11月15日
要約：
【課題】所望領域への検体の供給量及び堆積位置を比較的制御性良く調整できる検体の検査装置及び方法を提供することである。【解決手段】検査装置は、電磁波を伝播させるための伝送線路2、3、13と、テラヘルツ波を伝送線路に供給するための電磁波供給手段4、11、12、14、18と、伝送線路からのテラヘルツ波を検出するための電磁波検出手段5、15、19と、導電性領域3と、検体供給手段7と、堆積手段9、17を有する。導電性領域3は、伝送線路を伝播する電磁波の電場分布の及ぶ範囲の少なくとも一部を含む部位に配置される。検体供給手段は、検体を保持して外部に供給するためのもので、堆積手段は、検体供給手段7から供給される検体を静電気力によって導電性領域3に選択的に堆積させる。電磁波供給手段から供給されて伝送線路を伝播させられた電磁波を電磁波検出手段により検出して、検体の情報を取得する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電磁波を伝播させるための伝送線路と、30GHz乃至30THzの波長域に含まれる電磁波を前記伝送線路に供給するための電磁波供給手段と、前記伝送線路からの前記電磁波を検出するための電磁波検出手段と、前記伝送線路を伝播する電磁波の電場分布の及ぶ範囲の少なくとも一部を含む部位に配置された導電性領域と、検体を保持して外部に供給するための検体供給手段と、前記検体供給手段から供給される検体を静電気力によって前記導電性領域に選択的に堆積させるための堆積手段と、を有し、 前記電磁波供給手段から供給されて前記伝送線路を伝播させられた前記電磁波を前記電磁波検出手段により検出して、前記検体の情報を取得することを特徴とする検査装置。
IPC (1件)：
G01N 21/35
FI (1件)：
G01N21/35 Z
Fターム (13件)：
2G059AA01 ,  2G059BB04 ,  2G059BB12 ,  2G059CC16 ,  2G059DD01 ,  2G059DD15 ,  2G059DD17 ,  2G059FF05 ,  2G059GG01 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK10
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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