高周波電気信号制御装置及びセンシングシステム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-181663
公開番号（公開出願番号）：特開2005-017644
出願日： 2003年06月25日
公開日（公表日）： 2005年01月20日
要約：

【課題】主としてミリ波からテラヘルツ波における電磁波を用いてセンシングなどを行うための、低消費電力、小型で持ち運び可能な集積モジュールとして容易に構成され得る構成を有する高周波電気信号制御装置、これを用いたセンシングシステムを提供することである。【解決手段】高周波電気信号制御装置は、高周波電気信号の発生器6であってレーザ光13a、13bをそのレーザ光よりも低い周波数の電磁波14に変換する素子を備える。レーザ光13a、13bを発生させるレーザ装置3a、3b、レーザ光13a、13bを伝播させて発生器6に導くための光導波路4、発生器6、信号を伝播させるための伝送路5、17が同一基板1上に集積化されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

高周波電気信号の発生器であってレーザ光をそのレーザ光よりも低い周波数の電磁波に変換する素子を備え、該レーザ光を発生させるレーザ装置、レーザ光を伝播させて該発生器に導くための光導波路、該発生器、前記信号を伝播させるための伝送路が同一基板上に集積化されていることを特徴とする高周波電気信号制御装置。

IPC (1件)：

G02F2/02

FI (1件)：

G02F2/02

Fターム (7件)：

2K002AA04 , 2K002AB12 , 2K002BA02 , 2K002CA13 , 2K002DA08 , 2K002EA30 , 2K002GA07

引用特許：

審査官引用 (4件)

半導体デバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-314136 出願人：トーシバ・リサーチ・ヨーロップ・リミテッド
光システム及びこれによる対象物調査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-243654 出願人：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド
半導体の電気特性評価装置および電気特性評価方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-282497 出願人：株式会社栃木ニコン, 株式会社ニコン

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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