特許

J-GLOBAL ID：200903001036390109

基板検査装置及び基板検査方法

発明者： 岩井 進 ,  加藤 昇
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (1件)： 高橋 浩三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-209218
公開番号（公開出願番号）：特開2007-024733
出願日： 2005年07月19日
公開日（公表日）： 2007年02月01日
要約：

【課題】基板の表面の欠陥と内部の欠陥とを、1回の検査工程で効率良く弁別する。【解決手段】光学系10の検査光投光系は、検査光を基板1の裏面へ斜めに照射する。CCDラインセンサー21を含む第1の受光系は、検査光が基板1の表面又は内部の欠陥により散乱された散乱光を、基板1の表面に焦点を合わせて受光する。CCDラインセンサー22を含む第2の受光系は、検査光が基板1の表面又は内部の欠陥により散乱された散乱光を、基板1の内部に焦点を合わせて受光する。信号処理回路60は、第1の受光系が受光した散乱光と第2の受光系が受光した散乱光との強度の違いから、基板1の表面の欠陥と内部の欠陥とを弁別する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

検査光を基板へ照射する投光系と、 検査光が基板の表面又は内部の欠陥により反射又は散乱された光を、基板の表面に焦点を合わせて受光する第1の受光系と、 検査光が基板の表面又は内部の欠陥により反射又は散乱された光を、基板の内部に焦点を合わせて受光する第2の受光系と、 前記第1の受光系が受光した光と前記第2の受光系が受光した光との強度の違いから、基板の表面の欠陥と内部の欠陥とを弁別する処理手段とを備えたことを特徴とする基板検査装置。

IPC (1件)：

G01N 21/958

FI (1件)：

G01N21/958

Fターム (12件)：

2G051AA73 ,  2G051AB02 ,  2G051AB06 ,  2G051AB07 ,  2G051BA01 ,  2G051BA10 ,  2G051BB05 ,  2G051CA03 ,  2G051CB05 ,  2G051DA07 ,  2G051EA11 ,  2G051EA16

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ガラス基板の欠陥種別判定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-087049   出願人：日立電子エンジニアリング株式会社
• ガラス基板の表裏欠陥識別方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-087050   出願人：日立電子エンジニアリング株式会社

審査官引用 (2件)

• 異物識別方法及び異物識別装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-094269   出願人：株式会社日立国際電気
• 特開平4-029041